針對共焦拉曼系統(tǒng)空間分辨力提升的迫切需求,研制了一套徑向偏振光瞳濾波共焦拉曼光譜顯微系統(tǒng)(RPCRS)。該系統(tǒng)利用徑向偏振光發(fā)生器(S波片)將激光器發(fā)出的線偏振光轉(zhuǎn)換為徑向偏振光;然后,利用光瞳濾波器對徑向偏振光進(jìn)行調(diào)制,從而壓縮拉曼激發(fā)光斑;最后,利用共焦針孔消除焦點(diǎn)外位置的拉曼散射光,進(jìn)一步提升共焦拉曼顯微系統(tǒng)的空間分辨力。該系統(tǒng)具有較高的空間分辨力和橫向靈敏度。以周期性刻線和標(biāo)準(zhǔn)臺階作為測試樣品進(jìn)行實(shí)驗(yàn),實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,RPCRS的空間分辨力可以達(dá)到240 nm,橫向靈敏度相比普通拉曼共焦系統(tǒng)提升了46.5%,測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度為18.87 nm。該系統(tǒng)可用于高空間分辨共焦拉曼成像。

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【文章目錄】：
0 引 言
1 成像原理
2 成像系統(tǒng)參數(shù)優(yōu)化
    2.1 光瞳濾波器優(yōu)化
    2.2 最佳針孔尺寸優(yōu)化
3 光譜顯微系統(tǒng)構(gòu)建
4 成像性能測試及不確定度分析
    4.1 空間分辨力測試
    4.2 橫向靈敏率測試
    4.3 橫向測量不確定度
5 結(jié) 論



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