使用一個(gè)特殊圓臺(tái)面反射鏡,在Fizeau（菲索）干涉儀系統(tǒng)中,可實(shí)現(xiàn)對圓柱外表面粗糙度的一次性測量。但反射鏡與待檢測圓柱的空間相對位置很難精準(zhǔn)確定,因而會(huì)引入測量失調(diào)誤差,影響測量結(jié)果的精度。為了便于剔除誤差,要對誤差的類型以及產(chǎn)生原因做具體分析。研究光線傳播軌跡并建立數(shù)學(xué)模型,在圓柱坐標(biāo)系下求解得到偏移失調(diào)誤差、旋轉(zhuǎn)失調(diào)誤差、加工角度誤差與測量光程差的關(guān)系式。使用Matlab軟件仿真,繪制出3種失調(diào)誤差對應(yīng)的干涉條紋。分析引入誤差的干涉條紋,對比實(shí)驗(yàn)測量結(jié)果,減小誤差對測量結(jié)果的影響,得到圓柱外表面的形貌信息。 

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【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]干涉測量圓柱內(nèi)表面的失調(diào)誤差分析[J]. 孫昊,韓森,唐壽鴻,王芳,殷留留.  光學(xué)學(xué)報(bào). 2017(01)
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碩士論文
[1]相移條紋投影法的關(guān)鍵技術(shù)研究[D]. 宋倩.南京理工大學(xué) 2014
[2]相移條紋投影法光學(xué)面形測量技術(shù)研究[D]. 崔艷軍.南京理工大學(xué) 2013
[3]大功率半導(dǎo)體激光器陣列光束整形系統(tǒng)研究[D]. 上官王聘.浙江大學(xué) 2011



本文編號：3720246