針對當前光學元件瑕疵檢測精度的問題,設計了基于嵌入式技術(shù)的超精密光學元件瑕疵檢測方法。首先采用單片機作為嵌入式檢測方法的主控制器,將嵌入式WinCE操作平臺應用于主控制器中實現(xiàn)超精密光學元件的瑕疵檢測,通過數(shù)據(jù)采集模塊利用數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)接器轉(zhuǎn)換后將所采集信號發(fā)送至主控制模塊,主控制模塊將信號通過數(shù)據(jù)傳輸模塊處理后發(fā)送至瑕疵檢測模塊中,瑕疵檢測模塊通過相移干涉超精密光學元件瑕疵檢測方法實現(xiàn)超精密光學元件瑕疵數(shù)據(jù)檢測,并將檢測結(jié)果發(fā)送至數(shù)據(jù)處理模塊,由數(shù)據(jù)處理模塊處理檢測結(jié)果后發(fā)送至LCD顯示模塊,實現(xiàn)人機交互。實驗結(jié)果表明,該方法檢測10種不同超精密光學元件瑕疵檢測精度均高于99%,檢測時間均低于15 ms。 

【文章頁數(shù)】：5 頁

【文章目錄】：
1 引言
2 超精密光學元件瑕疵檢測
    2.1 嵌入式超精密光學元件瑕疵檢測
    2.2 嵌入式技術(shù)
    2.3 相移干涉超精密光學元件瑕疵檢測方法
3 仿真實驗
4 結(jié)束語


【參考文獻】：
期刊論文
[1]用于高精度測量位移等參量的光纖多波長激光器[J]. 王韻致,謝芳,陳龍輝,李明佳,徐海波.  光學精密工程. 2019(09)
[2]含有雙層衍射光學元件的紅外雙波段無熱化光學系統(tǒng)的設計[J]. 楊亮亮,沈法華,劉成林,童巧英.  紅外技術(shù). 2019(08)
[3]熱環(huán)境試驗溫度均勻度對精密光學測量的影響[J]. 呂蓉蓉,吳靜怡,陳康,蔡愛峰.  工程熱物理學報. 2019(08)
[4]大口徑平面光學元件波前梯度數(shù)控拋光[J]. 黃金勇,趙恒,胡慶,高胥華.  光學精密工程. 2019(07)
[5]多波長輻照下熔石英光學元件的損傷及損傷增長[J]. 邱榮,蔣勇,郭德成,葉成,史晉芳,周強,韓偉,黃進.  強激光與粒子束. 2019(08)
[6]基于光照預處理與特征提取的紡織品瑕疵檢測方法[J]. 狄嵐,趙樹志,何銳波.  智能系統(tǒng)學報. 2019(04)
[7]基于總散射測量的表面質(zhì)量檢測新方法[J]. 黃聰,張科鵬,王翔,孫年春,張彬,陳堅,趙建華.  光學學報. 2019(07)
[8]基于環(huán)形光束整形的衍射光學元件的精確設計[J]. 楊美霞,孔哲,譚峭峰,任鋼,薛亮平.  光學學報. 2019(03)
[9]自由曲面光學元件待加工區(qū)域標記方法[J]. 陳曦,郭培基,王偉.  光學技術(shù). 2018(04)
[10]Czerny-Turner型光柵光譜儀光學系統(tǒng)優(yōu)化設計[J]. 劉佳暢,李書成,邵榮君,王允,趙維謙.  光學技術(shù). 2018(04)



本文編號：3710238