�。颊痉乔蛎婀鈱W(xué)元件表面形貌的干涉量測因須透過電腦全像片、零透鏡等補償元件提供與待測元件相匹配之理想非球面波前,故需嚴(yán)謹(jǐn)與復(fù)雜的程序進行量測系統(tǒng)即包含干涉儀內(nèi)部光路系統(tǒng)對準(zhǔn)誤差、參考球面鏡頭與補償元件等誤差的校正。然而,量測結(jié)果亦包含鏡片之夾持變形、承受重力之自重變形與量測環(huán)境的震動與氣流擾動等資訊,此類誤差源對中大口徑、量測光程長的光學(xué)元件之面形檢測影響甚重。 

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本文編號：3707005