為解決微機(jī)電（micro electromechanical system,MEMS）陀螺儀在隨機(jī)振動力學(xué)環(huán)境中的動態(tài)誤差問題,提出一種MEMS陀螺儀動態(tài)誤差的補(bǔ)償方法,建立動態(tài)誤差模型。通過對MEMS陀螺儀動態(tài)誤差影響因素的分析,在MEMS陀螺儀靜態(tài)誤差模型基礎(chǔ)上加入與振動輸入相關(guān)的誤差項(xiàng),減小由于隨機(jī)振動引入的誤差,提高M(jìn)EMS陀螺儀在隨機(jī)振動環(huán)境下的測量精度。結(jié)合實(shí)例,對所提模型進(jìn)行仿真分析,驗(yàn)證了其可行性和有效性。 

【文章來源】：計(jì)算機(jī)工程與設(shè)計(jì). 2020,41(06)北大核心

【文章頁數(shù)】：4 頁

【部分圖文】：

MEMS陀螺儀工作原理

振動條件譜形

隨機(jī)振動下MEMS陀螺儀輸出結(jié)果

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]一種高精度MEMS陀螺儀g值敏感系數(shù)誤差的標(biāo)定方法[J]. 周彬,趙萬良,石然,馬吉雨,付偉平.  導(dǎo)航與控制. 2018(05)
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[3]全解耦硅MEMS陀螺儀正交耦合分析[J]. 吝海鋒,王寧,楊擁軍,徐淑靜,李博.  微納電子技術(shù). 2018(01)
[4]MEMS環(huán)形振動陀螺結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與仿真分析[J]. 寇志偉,曹慧亮,劉俊,馮恒振,任建軍,連樹仁.  微納電子技術(shù). 2017(07)
[5]一種MEMS陀螺儀的標(biāo)定方法研究[J]. 吳雪娟,宋艷君,黃樹峰,張國綱,盧剛.  傳感器與微系統(tǒng). 2015(11)

博士論文
[1]多旋翼無人機(jī)微導(dǎo)航系統(tǒng)誤差補(bǔ)償與信息融合技術(shù)研究[D]. 杭義軍.南京航空航天大學(xué) 2017
[2]隨機(jī)振動分析方法研究及工程應(yīng)用[D]. 宋向華.哈爾濱工程大學(xué) 2014

碩士論文
[1]MEMS陀螺環(huán)境應(yīng)力下退化及失效特性研究[D]. 谷專元.華南理工大學(xué) 2017
[2]MEMS陀螺儀隨機(jī)漂移誤差補(bǔ)償技術(shù)的研究[D]. 霍元正.東南大學(xué) 2015
[3]MEMS慣性器件誤差分析與補(bǔ)償方法研究[D]. 程陽.沈陽理工大學(xué) 2015



本文編號：3603160