多口復(fù)合分子泵的設(shè)計(jì)拓寬了復(fù)合分子泵在檢漏技術(shù)中的應(yīng)用范圍,它結(jié)合了順流檢漏與逆流檢漏各自特點(diǎn),通過(guò)接入不同的抽氣口以適應(yīng)不同的檢漏需求。多口復(fù)合分子泵的抽氣能力決定了檢漏儀的性能,而抽氣口位置決定了分子泵的抽氣能力�；诜肿颖贸闅饣纠碚�,建立了多口復(fù)合分子泵的計(jì)算模型,在渦輪級(jí)選取不同位置設(shè)置精檢口,并結(jié)合質(zhì)譜儀實(shí)際使用情況對(duì)抽氣特性進(jìn)行研究,分析精檢口位置對(duì)檢漏性能的影響,得到了不同檢漏工況下的最優(yōu)開口位置,為檢漏用多口復(fù)合分子泵結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)提供理論依據(jù)。結(jié)果表明,被檢件工作壓力為10 Pa時(shí),精檢口應(yīng)開在第8級(jí)葉列之后,工作壓力為0.1 Pa時(shí),精檢口只需在第3級(jí)葉列之后即可;漏孔漏率為0.1 Pa·m³/s,精檢口位置應(yīng)在8級(jí)葉列之后;當(dāng)氦氣返流量為最小可檢漏率值時(shí),將精檢口開在第8級(jí)葉列處可以獲得較好的檢測(cè)性能。 

【文章來(lái)源】：儀器儀表學(xué)報(bào). 2020,41(11)北大核心EICSCD

【文章頁(yè)數(shù)】：8 頁(yè)

【部分圖文】：

圓形截面漏孔

在分析多口復(fù)合分子泵應(yīng)用于氦質(zhì)譜檢漏儀的抽氣性能時(shí),首先需要計(jì)算多口復(fù)合分子泵的抽氣特性參數(shù):以開口位置為界上半部分的渦輪葉列抽速S2、壓縮比K、下半部分的渦輪葉列抽速S3,如圖4所示。以科技部重大儀器專項(xiàng)開發(fā)的F- 63型復(fù)合分子泵數(shù)據(jù)進(jìn)行理論計(jì)算,具體參數(shù)為:轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速n=72 000 r/min;渦輪外徑D=67 mm;靜葉片外徑D′=68 mm;渦輪內(nèi)徑第1級(jí)為d=44 mm,之后幾級(jí)是52 mm。渦輪級(jí)葉片幾何參數(shù)如表1所示。

如圖5所示,隨著開口位置由高真空側(cè)向低真空側(cè)移動(dòng),對(duì)于空氣分子的抽速S2逐漸增大,在渦輪葉列4～5級(jí)之前急速上升,之后變化平穩(wěn),當(dāng)開口位置位于6～7級(jí)之后,抽速S2基本保持穩(wěn)定,對(duì)于氦氣分子,當(dāng)抽氣口開在5～6級(jí)之間時(shí),抽速達(dá)到最大值,之后緩慢下降。如圖6所示,以開口位置為界下半部分的抽速S3隨著開口位置從1級(jí)葉列移動(dòng)到12級(jí)葉列而逐漸降低。對(duì)于空氣與氦氣兩種介質(zhì),在5級(jí)葉列之前對(duì)空氣分子的抽速大于對(duì)氦氣分子的抽速,之后對(duì)空氣的抽速略低于對(duì)氦氣的抽速,當(dāng)開口位置處于8級(jí)葉列之后,兩者的抽速基本相等。分析圖6中曲線,在6級(jí)葉列之前屬于高速抽氣段,每增加一級(jí)葉列都會(huì)使得抽速變化很多,之后的葉片形狀抽速較低,對(duì)抽速的影響較小。

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