光學(xué)透鏡的面形精度是影響干涉儀等光學(xué)系統(tǒng)性能的重要因素之一。其中光學(xué)透鏡的自重是引起透鏡的面形發(fā)生變化的主要原因。為了提高由光學(xué)透鏡的面形精度,設(shè)計了一種具有輔助剛體的光學(xué)透鏡半柔性支撐結(jié)構(gòu)。通過Abaqus有限元分析軟件,模擬出在半柔性支撐結(jié)構(gòu)下光學(xué)透鏡自重對其自身面形的影響。分析的最終結(jié)果表明:光學(xué)透鏡的上表面與下表面的面形RMS值分別為3.51 nm和4.64 nm。由此可以得出,設(shè)計的具有輔助剛體的光學(xué)透鏡半柔性支撐結(jié)構(gòu)可以充分滿足干涉儀等光學(xué)系統(tǒng)對光學(xué)透鏡面形的精度要求。 

【文章來源】：軟件. 2020,41(08)

【文章頁數(shù)】：3 頁

【部分圖文】：

透鏡的應(yīng)力云圖

柔性結(jié)構(gòu)采用多彈片式結(jié)構(gòu)，彈片模型可簡化為懸臂梁結(jié)構(gòu)進(jìn)行設(shè)計分析；徑向采用三點撓性間隙結(jié)構(gòu)（三個彈片與外結(jié)構(gòu)體采用焊接）來定心并防止發(fā)生較大水平方向位移，實際操作上主要水平微調(diào)還是靠后期進(jìn)行。在不考慮柔性結(jié)構(gòu)（多彈片支撐結(jié)構(gòu)）與徑向定位裝置之間的裝配夾緊力對柔性結(jié)構(gòu)的變形情況下，對于支撐結(jié)構(gòu)做了簡化，配合簡化的三點輔助剛體支撐結(jié)構(gòu)組合成的半柔性支撐結(jié)構(gòu)，如圖2所示。

在不考慮柔性結(jié)構(gòu)（多彈片支撐結(jié)構(gòu)）與徑向定位裝置之間的裝配夾緊力對柔性結(jié)構(gòu)的變形情況下，對于支撐結(jié)構(gòu)做了簡化，配合簡化的三點輔助剛體支撐結(jié)構(gòu)組合成的半柔性支撐結(jié)構(gòu)，如圖2所示。1.1.1柔性結(jié)構(gòu)，徑向定位結(jié)構(gòu)與輔助剛體材料選擇

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