為了提高光學(xué)元件的面形精度,精確擬合出離子束去除函數(shù)。以去除函數(shù)的方均根（RMS）為分析對(duì)象,分析不同疊加間距下離子束等量去除的去除量及波動(dòng)量。根據(jù)理論及實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)分析驗(yàn)證一維等量去除的可行性,得出最優(yōu)疊加間距為σ。再以σ為疊加間距進(jìn)行二維等量去除理論及實(shí)驗(yàn)分析,通過(guò)30s熔石英二維等量去除實(shí)驗(yàn),得出去除量為384.7nm。結(jié)合拋光實(shí)驗(yàn),對(duì)RMS值為138.5nm的Φ100mm口徑的熔石英平面窗口玻璃進(jìn)行面形修正,加工后RMS值為18nm,面形收斂率達(dá)到7.82。 

【文章來(lái)源】：激光與光電子學(xué)進(jìn)展. 2020,57(03)北大核心CSCD

【文章頁(yè)數(shù)】：7 頁(yè)

【部分圖文】：

去除函數(shù)擬合圖

采用圖2所示柵格路徑的加工方式對(duì)光學(xué)元件進(jìn)行修形。因?yàn)闁鸥衤窂降募庸し绞脚c二維等量去除率以及元胞尺寸的劃分有關(guān)，通過(guò)分析及實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)元胞直徑為1.41σ時(shí)，能夠獲取準(zhǔn)確的駐留時(shí)間，達(dá)到較高的面形收斂。為了實(shí)現(xiàn)離子束等量去除相關(guān)量，對(duì)高斯型去除函數(shù)進(jìn)行預(yù)測(cè)，其數(shù)學(xué)表達(dá)式所傳遞的含義都與σ有關(guān)，因此根據(jù)σ來(lái)分析不同疊加間距下的等量去除效果。2.1 一維等量去除的實(shí)現(xiàn)

γ值的大小表示波動(dòng)程度的大小，波動(dòng)值越大疊加效果越差。波動(dòng)值分析曲線(xiàn)如圖4所示。當(dāng)疊加間距為σ時(shí)，波動(dòng)值為3.57×10-6 nm；疊加間距為1.5σ時(shí)，波動(dòng)值為0.13nm，基本實(shí)現(xiàn)了理想的理論去除；當(dāng)疊加間距為2σ時(shí)，波動(dòng)比較明顯，因此選擇疊加間距在2σ以?xún)?nèi)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)分析更合理。圖4 波動(dòng)值變化曲線(xiàn)

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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碩士論文
[1]離子束拋光去除特性研究[D]. 段沽坪.中國(guó)科學(xué)院研究生院（光電技術(shù)研究所） 2013
[2]高精度球體類(lèi)零件離子束確定性修形技術(shù)研究[D]. 廖文林.國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué) 2010



本文編號(hào)：3564679