液晶顯示屏（LCD）以其體積小、功耗低、接口方便控制的優(yōu)點(diǎn)在智能電子產(chǎn)品中得到了廣泛的應(yīng)用。LCD的厚度及其均勻性直接影響顯示清晰度性能,因此對(duì)LCD厚度的測(cè)量意義重大。本文對(duì)常見(jiàn)的厚度測(cè)量方法原理和特點(diǎn)進(jìn)行分析比較,根據(jù)LCD自身特點(diǎn)和測(cè)量要求,設(shè)計(jì)了雙路白光顯微干涉測(cè)厚系統(tǒng)。主要內(nèi)容如下:1.系統(tǒng)采用Mirau干涉分光光路,分為左右相同且位置對(duì)稱(chēng)的兩裝置,左右裝置建立統(tǒng)一坐標(biāo)系來(lái)確定其對(duì)應(yīng)的位置關(guān)系。兩束白光分別聚焦到被測(cè)物體左右表面上,兩CCD分別采集左右被測(cè)物體表面形成的白光干涉圖像,在統(tǒng)一坐標(biāo)系下分析兩CCD上的白光干涉圖像從而得到被測(cè)物體的厚度。2.在此測(cè)量原理基礎(chǔ)上,選擇白光光源、Mirau干涉顯微鏡、圖像采集裝置等光學(xué)元件設(shè)計(jì)干涉光學(xué)成像系統(tǒng)和相應(yīng)的機(jī)械結(jié)構(gòu)。3.使用MATLAB處理采集到的白光干涉圖像,得到十字刻線(xiàn)中心提取算法、計(jì)算任意方向條紋斜率算法。特別是提出了一種提取白光零級(jí)干涉條紋中心位置的三色條紋分離度方法,與現(xiàn)有的提取白光零級(jí)干涉條紋中心位置方法相比,這種新方法基于白光干涉條紋的物理本質(zhì),定位更加簡(jiǎn)單、可靠。4.對(duì)搭建的雙路白光顯微干涉系統(tǒng)進(jìn)行光路微調(diào)整、... 

【文章來(lái)源】：華中科技大學(xué)湖北省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁(yè)數(shù)】：74 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

液晶顯示屏（LCD）結(jié)構(gòu)圖

點(diǎn)應(yīng)用尤為普遍，常用的光學(xué)測(cè)量法主要有光吸法[7]。據(jù)待測(cè)物體內(nèi)部傳播的光的衰減規(guī)律進(jìn)行厚度測(cè)比爾-朗伯定律表示為：)K b cT1A l g ( A 為吸光度；T 為透射比，是透射光強(qiáng)比入射光波長(zhǎng)有關(guān)的摩爾吸收系數(shù)；c 為光物質(zhì)的濃度；反應(yīng)了光在被測(cè)物體內(nèi)部傳播的衰減程度與被間的關(guān)系，這一定律被廣泛的應(yīng)用于定量分析物是近紅外光吸收法測(cè)厚，美國(guó) NDC 公司在這方on 等人研制了如圖 1-2 所示的寬波段聚合物厚度

華 中 科 技 大 學(xué) 碩 士 學(xué) 位 論 文漫射光源發(fā)出的漫射寬波段光通過(guò)乳白玻璃均勻照射到被測(cè)薄膜的透射光。分析系統(tǒng)光源入射光和被測(cè)薄膜到被測(cè)薄膜厚度。這種裝置的優(yōu)點(diǎn)是系統(tǒng)成本低、可快，但是，裝置相對(duì)測(cè)量誤差較大，精度較低。法非破壞性是多功能光學(xué)測(cè)量技術(shù)橢圓偏振法的優(yōu)點(diǎn)，厚度的測(cè)量、物質(zhì)介電性質(zhì)等工業(yè)測(cè)量中[11]。圓偏振法的測(cè)厚原理，非線(xiàn)偏振光從光源射出，通過(guò)測(cè)表面的光是橢圓偏振光，檢偏器和光電探測(cè)器的作入射偏振光與反射偏振光的偏振狀態(tài)與被測(cè)薄膜厚度被測(cè)薄膜的厚度 d 就可以通過(guò)分析測(cè)量光偏振狀態(tài)的變

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]基于橢圓偏振法的薄膜厚度測(cè)量[J]. 李勇,李剛,曹小榮,李亮.  安陽(yáng)工學(xué)院學(xué)報(bào). 2016(04)
[2]電子產(chǎn)品液晶顯示屏應(yīng)用技術(shù)探討[J]. 蘇錫鋒.  黃河水利職業(yè)技術(shù)學(xué)院學(xué)報(bào). 2011(04)
[3]基于白光干涉的光學(xué)薄膜物理厚度測(cè)量方法[J]. 薛暉,沈偉東,顧培夫,羅震岳,劉旭,章岳光.  光學(xué)學(xué)報(bào). 2009(07)
[4]涂鍍層厚度檢測(cè)方法的發(fā)展現(xiàn)狀及展望[J]. 楊華,董世運(yùn),徐濱士.  材料保護(hù). 2008(11)
[5]基于掃描白光干涉法的接觸式表面形貌輪廓測(cè)量?jī)x[J]. 張玲玲,謝鐵邦.  計(jì)量技術(shù). 2007(03)
[6]WI VS三維表面形貌測(cè)量?jī)x[J]. 常素萍,謝鐵邦.  計(jì)量技術(shù). 2006(12)
[7]微表面形貌大視場(chǎng)檢測(cè)相移顯微干涉儀研制[J]. 張紅霞,張以謨,井文才,李朝輝,周革,朱蔚.  光電子·激光. 2006(08)
[8]柯拉照明在顯微鏡調(diào)節(jié)中的應(yīng)用[J]. 劉金,解玉蘭.  實(shí)驗(yàn)室科學(xué). 2006(02)
[9]白光掃描干涉測(cè)量算法綜述[J]. 楊天博,郭宏,李達(dá)成.  光學(xué)技術(shù). 2006(01)
[10]表面形貌光學(xué)法測(cè)量技術(shù)[J]. 馮斌,王建華.  計(jì)量與測(cè)試技術(shù). 2005(06)

博士論文
[1]基于白光干涉輪廓尺寸與形貌非接觸測(cè)量方法和系統(tǒng)[D]. 常素萍.華中科技大學(xué) 2007
[2]用于微表面形貌檢測(cè)的納米級(jí)白光相移干涉研究及儀器化[D]. 張紅霞.天津大學(xué) 2004
[3]表面微觀形貌測(cè)量中相移干涉術(shù)的算法與實(shí)驗(yàn)研究[D]. 惠梅.中國(guó)科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所 2001

碩士論文
[1]便攜式單鏡頭激光三角測(cè)厚儀研究[D]. 汪琛.華中科技大學(xué) 2013
[2]基于DSP的超聲測(cè)厚系統(tǒng)研究[D]. 周瑩.哈爾濱工程大學(xué) 2009
[3]光譜型白光干涉在測(cè)距和光學(xué)薄膜相位測(cè)試中的應(yīng)用研究[D]. 倪肖勇.浙江大學(xué) 2008



本文編號(hào)：3541997