深紫外、極紫外光刻、先進光源等現(xiàn)代光學工程牽引驅(qū)動超精密光學技術(shù)持續(xù)發(fā)展,超精密光學制造要求與之精度相匹配的超高精度檢測技術(shù)。作為核心技術(shù)指標之一的面形精度通常要求達到納米、深亞納米甚至幾十皮米量級,超高精度面形干涉檢測技術(shù)挑戰(zhàn)技術(shù)極限,具有重要研究意義和應用價值。本文分析了面形干涉檢測技術(shù)發(fā)展趨勢,主要介紹了中國科學院光電技術(shù)研究所近年來在超高精度面形干涉檢測技術(shù)相關(guān)研究進展。 

【文章來源】：光電工程. 2020,47(08)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】：13 頁

【部分圖文】：

面形精度需求變化[2]

圖1 面形精度需求變化[2]本文分析了面形干涉檢測技術(shù)發(fā)展趨勢，主要介紹了中國科學院光電技術(shù)研究所近年來在超高精度面形干涉檢測的技術(shù)相關(guān)研究進展，主要包括重復精度及復現(xiàn)精度提升方法、絕對檢測技術(shù)、高次非球面CGH補償檢測技術(shù)、重力變形補償方法以及不確定度評估等關(guān)鍵技術(shù)。

精密支撐有限元仿真分析

【參考文獻】：
期刊論文
[1]裝夾自重變形對大口徑絕對面形檢測的影響[J]. 趙思偉,田愛玲,王大森,劉丙才,朱學亮,劉衛(wèi)國.  光子學報. 2018(02)
[2]高精度光學元件支撐裝置面形復現(xiàn)性分析與測量[J]. 王輝,周烽,王麗萍,于杰,金春水.  中國激光. 2013(12)

博士論文
[1]基于光線追跡和特征函數(shù)的非球面干涉檢測系統(tǒng)建模及應用研究[D]. 何一葦.中國科學院大學(中國科學院光電技術(shù)研究所) 2018
[2]干涉面形絕對檢測不確定度評估方法研究[D]. 全海洋.中國科學院光電技術(shù)研究所 2017
[3]基于平移旋轉(zhuǎn)的球面絕對檢測技術(shù)研究[D]. 宋偉紅.中國科學院研究生院（光電技術(shù)研究所） 2014



本文編號：3261793