標(biāo)準(zhǔn)球面透鏡是斐索型干涉儀的核心器件,綜述標(biāo)準(zhǔn)球面透鏡的幾何特性和誤差。分析標(biāo)準(zhǔn)球面透鏡在干涉照明光路和成像光路中的作用,重點(diǎn)介紹并實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了球面干涉成像的R-sinθ幾何特性關(guān)系模型,給出了采用Q非球面實(shí)現(xiàn)非球面分裂的新型設(shè)計(jì)方法,以及2片式非球面標(biāo)準(zhǔn)球面透鏡結(jié)構(gòu)的實(shí)例,概述了針對小F數(shù)標(biāo)準(zhǔn)球面透鏡球面干涉腔中的待測球面調(diào)整誤差和移相空間非均勻性誤差的研究成果,介紹了校正球面干涉腔中誤差的波面差分算法,指出在近標(biāo)準(zhǔn)球面透鏡焦點(diǎn)位置測量球面時(shí)的回程誤差影響,從物像共軛關(guān)系角度解釋了近焦點(diǎn)位置回程誤差較大的原因,比對分析了標(biāo)準(zhǔn)球面透鏡的透射波前與斜率對回程誤差的影響。提出了在設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)球面透鏡時(shí)需注意的幾何特性關(guān)系,以及使用標(biāo)準(zhǔn)球面透鏡時(shí)易產(chǎn)生的誤差和相應(yīng)的抑制方法。 

【文章來源】：應(yīng)用光學(xué). 2020,41(04)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】：11 頁

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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本文編號：3198827