設(shè)計了一種采用壓電陶瓷驅(qū)動的3自由度剛?cè)狁詈衔⒍ㄎ黄脚_,利用柔性鉸鏈機構(gòu)及自鎖原理在保證裝置定位精度的同時提高了微定位平臺的承載能力.首先,對該平臺的結(jié)構(gòu)進行了設(shè)計,分析其運動及自鎖原理;然后采用ANSYS對微定位平臺進行了性能分析,結(jié)果表明,該微定位平臺在y方向變形為28.8μm/100 N,z方向的變形為0.205μm/100 N;模態(tài)分析中,xy向驅(qū)動板和z向驅(qū)動板一階固有頻率較高,具有比較理想的動力學(xué)特性,能夠用于加工過程中承載力變化較大的情況. 

【文章來源】：天津理工大學(xué)學(xué)報. 2020,36(05)

【文章頁數(shù)】：5 頁

【文章目錄】：
1 剛?cè)狁詈衔⒍ㄎ黄脚_
    1.1 結(jié)構(gòu)設(shè)計
    1.2 運動及自鎖原理分析
2 仿真分析
    2.1 靜力學(xué)分析
    2.2 動力學(xué)分析
3 結(jié)論


【參考文獻】：
期刊論文
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本文編號：3171796