氣體流量裝置的能力提升及微小音速?lài)娮炝鞒鎏匦匝芯?/H1>

發(fā)布時(shí)間：2021-04-17 03:54

　　隨著半導(dǎo)體、醫(yī)藥、化工、環(huán)境以及航天事業(yè)的不斷發(fā)展,測(cè)量微小氣體流量的準(zhǔn)確度要求越來(lái)越高,各種微小流量計(jì)發(fā)展迅猛。在各種微小氣體流量計(jì)中,微小音速?lài)娮煲驘o(wú)可動(dòng)部件、準(zhǔn)確度水平高、重復(fù)性好及流量不受下游條件干擾等優(yōu)點(diǎn),在國(guó)內(nèi)外氣體流量計(jì)量領(lǐng)域,廣泛將音速?lài)娮熳鳛闃?biāo)準(zhǔn)表對(duì)其它類(lèi)型的流量計(jì)進(jìn)行校準(zhǔn)和量值傳遞。近年來(lái),喉部直徑小于1 mm的微小音速?lài)娮斓膽?yīng)用越來(lái)越多,但其幾何形狀很難滿足國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO 9300:2005中標(biāo)準(zhǔn)音速?lài)娮斓慕Y(jié)構(gòu)要求,標(biāo)準(zhǔn)中音速?lài)娮炝鞒鎏匦缘慕?jīng)驗(yàn)公式并不適用,必須通過(guò)上一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)裝置對(duì)微小音速?lài)娮爝M(jìn)行準(zhǔn)確校準(zhǔn),才能保證量值準(zhǔn)確一致。目前,國(guó)內(nèi)適用于微小氣體流量的原級(jí)標(biāo)準(zhǔn)裝置較少,作為我國(guó)最高法定計(jì)量機(jī)構(gòu),國(guó)家計(jì)量院將pVTt法氣體流量裝置作為原級(jí)標(biāo)準(zhǔn)裝置使用,承擔(dān)著國(guó)內(nèi)超過(guò)80%的音速?lài)娮斓臏?zhǔn)確校準(zhǔn)和量值溯源任務(wù),流量下限為1 m³/h。因受限于國(guó)內(nèi)微小音速?lài)娮旒庸ぞ容^低及高準(zhǔn)確度的微小氣體流量裝置較少,對(duì)微小音速?lài)娮炝鞒鎏匦缘膶?shí)驗(yàn)研究進(jìn)展緩慢。為了滿足近年來(lái)生物醫(yī)學(xué)和環(huán)境監(jiān)測(cè)中微小氣體流量量值的可追溯性需求,迫切需要建立適用于微小氣體流量的原... 

【文章來(lái)源】：河北大學(xué)河北省

【文章頁(yè)數(shù)】：80 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

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