設計了一種用于玻璃厚度測量的空間相位調制型激光干涉儀,該干涉儀主要由垂直腔面發(fā)射激光器（VCSEL）,單模光纖和線陣電荷耦合器件（CCD）組成,玻璃上、下表面的反射光產(chǎn)生雙光束干涉,生成的空間相位調制干涉圖像被CCD探測,圖像的空間頻率與玻璃厚度成比例,厚度測量分辨率可以達到納米量級。該玻璃測厚教學實驗裝置具有體積小和成本低等優(yōu)勢,涉及光學干涉、激光原理、光電探測、現(xiàn)場可編程門陣列（FPGA）、電子電路、虛擬儀器、數(shù)字信號處理等諸多內容,適合于高年級本科生的教學實驗。 

【文章來源】：實驗科學與技術. 2020,18(03)

【文章頁數(shù)】：6 頁

【部分圖文】：

激光干涉儀原理圖

干涉光的光程差及模擬干涉圖像

根據(jù)式（1）～式（7）及式（13），空間頻率f和待測玻璃厚度d之間的關系可通過模擬計算，其結果如圖3所示，其中，光源中心波長λ=851.19 nm。圖3表明在光源波長一定的情況下，干涉圖像的空間頻率與玻璃厚度呈較好的線性關系，干涉儀的空間頻率對厚度測量的響應度可以通過線性擬合得到，為12 762.2 Hz/mm。

【參考文獻】：
期刊論文
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本文編號：3103271