微機(jī)電系統(tǒng)發(fā)展的一大趨勢(shì)是與光學(xué)相結(jié)合形成微光機(jī)電系統(tǒng),而微光機(jī)電系統(tǒng)的發(fā)展離不開微小光學(xué)的支撐。微透鏡陣列作為微小光學(xué)元件的重要組成部分在成像、傳感、點(diǎn)光源器件和光學(xué)互聯(lián)等方面已經(jīng)變得不可或缺。PDMS基磁流變彈性體薄膜是將納米磁性顆�；烊隤DMS基體中并采用特殊的方法制作成的一種具有微米級(jí)厚度的光學(xué)薄膜。本課題組已經(jīng)制備并測(cè)試過這種薄膜其結(jié)果表明在外磁場(chǎng)的作用下該薄膜的光學(xué)特性將會(huì)發(fā)生改變�；谶@樣的結(jié)果本論文首先創(chuàng)新地設(shè)計(jì)兩種PDMS微透鏡陣列并進(jìn)行了制造和表征測(cè)試,然后將已有PDMS微透鏡陣列的制造方法結(jié)合PDMS基磁流變彈性體光學(xué)薄膜創(chuàng)新性地設(shè)計(jì)出PDMS基磁響應(yīng)微透鏡陣列。首先是PDMS薄膜微透鏡陣列,其主要原理是利用機(jī)械撓曲將平面薄膜變成微透鏡陣列結(jié)構(gòu)。理論上分析了凹槽擠壓薄膜模型并用ANSYS仿真得出薄膜截面的變形圖。設(shè)計(jì)了PDMS薄膜微透鏡陣列的制作方法,利用了SU-8厚膠光刻技術(shù)和旋涂工藝等手段制得PDMS薄膜微透鏡陣列。對(duì)制備的樣品進(jìn)行了幾何表征和光學(xué)性能測(cè)試得到了很好的測(cè)試結(jié)果。然后本文將介紹一種新穎的制造微透鏡陣列的方法。我們創(chuàng)新地利用了液相與微結(jié)構(gòu)表面接觸時(shí)... 

【文章來源】：電子科技大學(xué)四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁(yè)數(shù)】：102 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

微液滴噴射制作微透鏡的原理示意圖

熱模壓印過程的結(jié)構(gòu)示意圖

傳統(tǒng)MRE的制作流程

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]磁流變彈性體的制備及其壓敏導(dǎo)電性能研究[J]. 肖林京,范亞敏,朱緒力,滕桂榮,肖楠,王傳萍,公緒波,衛(wèi)潔.  功能材料. 2016(07)
[2]混有Fe3O4納米顆粒的PDMS薄膜磁力激勵(lì)變形研究[J]. 段俊萍,王春水,張斌珍,王萬軍.  功能材料. 2014(18)
[3]基于PDMS薄膜的微透鏡制作方法[J]. 洪水金,常洪龍,尋文鵬,馮建國(guó).  微納電子技術(shù). 2014(04)
[4]微結(jié)構(gòu)表面Cassie/Wenzel潤(rùn)濕模式轉(zhuǎn)換機(jī)制研究[J]. 李小兵.  潤(rùn)滑與密封. 2013(11)
[5]雙向拉伸聚酯薄膜在電子元器件上的應(yīng)用及前景[J]. 高宏保.  聚酯工業(yè). 2009(06)
[6]表面微細(xì)結(jié)構(gòu)制備超疏水表面[J]. 鄭黎俊,烏學(xué)東,樓增,吳旦.  科學(xué)通報(bào). 2004(17)
[7]微光機(jī)電系統(tǒng)（MOEMS）的研究現(xiàn)狀及展望[J]. 陳非凡,殷玲,李云龍.  微細(xì)加工技術(shù). 2002(03)
[8]LIGA技術(shù)X光深層光刻工藝研究[J]. 陳迪,李昌敏,章吉良,伊福廷,周狄,郭曉蕓.  微細(xì)加工技術(shù). 2000(02)
[9]微小光學(xué)的研究現(xiàn)狀[J]. 劉德森.  物理. 1994(06)

碩士論文
[1]PDMS基磁響應(yīng)薄膜的制備、表征及應(yīng)用研究[D]. 孫江濤.電子科技大學(xué) 2017



本文編號(hào)：3081093