傅里葉變換紅外光譜儀具有高通量、多通道、波數示數精確、雜散光低以及重復性好的優(yōu)點,在食品監(jiān)測、氣體檢測、炸彈探測、礦產勘探、航天任務、醫(yī)療診斷、海洋探索、質量和過程控制等方面具有廣泛的應用。輕型傅里葉變換紅外光譜儀通過兩個多級微反射鏡實現(xiàn)光程差的空間離散和干涉圖的靜態(tài)二維采樣,通過引入輕型分束器有效降低了系統(tǒng)的體積和重量,實現(xiàn)干涉系統(tǒng)的輕量化。因此,該系統(tǒng)具有結構緊湊簡單、性能穩(wěn)定、重復性好、輕量化等優(yōu)點。本文主要開展了輕型傅里葉變換紅外光譜儀干涉系統(tǒng)的研究工作,主要研究內容如下:(1)對低階梯多級微反射鏡進行了設計及制作技術研究。提出了厚度依次減半的多層膜沉積方法,制作低階梯多級微反射鏡。制定了工藝流程,進行了關鍵技術研究,成功制作出32級低階梯多級微反射鏡。測試結果表明,粗糙度為1.72nm,平均階梯高度為626.9nm,滿足系統(tǒng)的要求。為提高系統(tǒng)的光譜分辨率,提出了采用濕法腐蝕方法制作128級低階梯多級微反射鏡,并進行了實驗探索。(2)分析研究了多級微反射鏡的面型誤差對復原光譜的影響。建立了階梯彎曲模型,采用ASAP軟件對實驗數據進行模擬仿真,得到階梯形變量與復原光譜之間的關系。... 

【文章來源】：中國科學院大學(中國科學院長春光學精密機械與物理研究所)吉林省

【文章頁數】：138 頁

【學位級別】：博士

【部分圖文】：

圖1.2層狀光柵干涉儀原理圖

光譜儀（Scharf 等.，2009），工作波段為中波紅外。該傅里葉變換光譜儀的核心為光柵干涉儀，主要包括 100μm 的光柵和靜電梳齒驅動器。圖1.4 微型傅里葉變換紅外光譜儀原理圖Figure 1.4 The building principle of the micro FTIR module2007 年，土耳其 Ko 大學提出了一種緊湊型傅里葉變換光譜儀，是將Michelson 干涉儀和層狀光柵結構集成到 FR4 掃描平臺上，通過電磁驅動控制平臺，具有結構緊湊、攜帶方便的優(yōu)點。（Urey 等.，2008；Ataman and Urey 等.，2008；Holmstrom 等.，2007）。FR4 是一種聚合物環(huán)氧玻璃樹脂

因此，該材料的工程性能、熱性能、機械性能良好，且具有制造成本低的優(yōu)點。系統(tǒng)的光譜分辨率為 0.89nm@638nm。圖1.5 采用FR4平臺的干涉儀示意圖Figure 1.5 Schematic of the lamellar grating interferometer employing a FR4 platform2006 年，奧地利克恩頓州技術研究所和德國夫瑯和費光子微系統(tǒng)研究所共

【參考文獻】：
期刊論文
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博士論文
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碩士論文
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本文編號：2924946