【摘要】：液晶顯示技術(shù)的發(fā)展,推動(dòng)了液晶檢測(cè)技術(shù)的不斷進(jìn)步�，F(xiàn)如今,隨著人們對(duì)產(chǎn)品品質(zhì)的要求不斷提高,大尺寸的液晶面板日漸普及。從第七代線開始,非接觸氣浮運(yùn)輸和檢測(cè)平臺(tái)逐步成為主流,與傳統(tǒng)的傳輸方式相比,氣浮運(yùn)輸減少了接觸性損傷、基材變形等問題,大幅提高了產(chǎn)品良率。氣浮平臺(tái)采用氣體作為介質(zhì),通過在平臺(tái)表面和玻璃基板之間形成一層氣體薄膜來實(shí)現(xiàn)支承和潤滑的功能。根據(jù)供壓方式的不同,主要分為正壓氣浮平臺(tái)和負(fù)壓吸附式氣浮平臺(tái),后者具有正負(fù)壓交錯(cuò)布置的出口,其壓強(qiáng)在氣膜的分布更加平穩(wěn),適用于液晶顯示屏表面缺陷的在線檢測(cè)系統(tǒng)。本文根據(jù)項(xiàng)問研究的實(shí)際需要,首先介紹了氣浮平臺(tái)的理論研究,然后對(duì)氣浮平臺(tái)的參數(shù)進(jìn)行數(shù)學(xué)推導(dǎo),并在此基礎(chǔ)上建立兒何模型。再利用有限元分析法完成網(wǎng)格劃分和仿真計(jì)算,并分析氣源壓強(qiáng)、節(jié)流孔徑、節(jié)流管高度、氣膜厚度等對(duì)氣體靜態(tài)特性的影響。之后給出氣浮塊和氣路設(shè)計(jì),氣浮塊設(shè)計(jì)主要包括兩大區(qū)域,即測(cè)量區(qū)和上下料區(qū)。氣路設(shè)計(jì)主要針對(duì)正壓氣路和負(fù)壓氣路,同時(shí)為了避免氣路之間相互干擾,將氣路分路設(shè)計(jì)并采用多重穩(wěn)壓的方法減少壓強(qiáng)波動(dòng)。之后根據(jù)相關(guān)論文和研究經(jīng)驗(yàn),合理設(shè)計(jì)和選擇適合的氣路元器件。最后在實(shí)際氣浮平臺(tái)中進(jìn)行了實(shí)驗(yàn),氣膜穩(wěn)定性滿足液晶顯示屏光學(xué)成像系統(tǒng)視場(chǎng)范圍。
【學(xué)位授予單位】：合肥工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2017
【分類號(hào)】：TH703
【圖文】：

被支承件逡逑—?dú)飧〕性詥卧义蠄D１．１氣浮平臺(tái)工作原理逡逑Ｆｉｇ邋１．１邋Ｔｈｅ邋ｗｏｒｋｉｎｇ邋ｐｒｉｎｃｉｐｌｅ邋ｏｆ邋ｆｌｏｔａｔｉｏｎ邋ｐｌａｔｆｏｒｍ逡逑圖１．２氣浮平臺(tái)運(yùn)載單元逡逑３逡逑

當(dāng)給定邊界條件，比如壁面速度Ｋ、６，端部壓強(qiáng)／７／、外等，便可以解出方逡逑程（２－１５）。以下根據(jù)幾種氣體薄層流動(dòng)給出其主要流動(dòng)參數(shù)的表達(dá)式及結(jié)果。逡逑圖２．１為兩平行平板間的流動(dòng)，從圖中可以看到，平行平板具有等間距，假設(shè)逡逑用％表示間距，并設(shè)平板長度為Ｉ、寬度為５。則平行平板的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)有兩種：固逡逑定不動(dòng)和相對(duì)運(yùn)動(dòng)，以下對(duì)這兩種情況分別討論。逡逑—邐Ｌ＿邐Ｊ逡逑＂＿—逡逑Ｕ邐Ｐｉ邐Ｋ逡逑Ｐｌ＾邐—－＿＾邐———逡逑ｆ邋ｙ逡逑／邋Ｘ／７Ｘ／邋／／／／／／／／／／／／／／／／／／／逡逑圖２．１兩平行平板間的流動(dòng)逡逑Ｆｉｇ２．１邋Ｔｈｅ邋ｆｌｏｗｉｎｇ邋ｂｅｔｗｅｅｎ邋ｔｗｏ邋ｐａｒａｌｌｅｌ邋ｐｌａｔｅｓ逡逑（１）兩平板固定不動(dòng)，流動(dòng)為沿Ｘ軸的一維流，００。此時(shí)兩端壓強(qiáng)分別為ＰＩ、逡逑／？２，兩板面上的速度ｗ＝０，即Ｚ＝０及化時(shí)，ｗ＝０�；玖鲃�(dòng)方程為：逡逑ｄｐ邋ｄ１邋／Ｊ．邐／邐、逡逑——ｊ－邐（２－１７）逡逑ｃＵ邋ｄｚ２逡逑１邋）流速Ｗ、平均流速Ｗｍ以及最大流速Ｗｍａｘ逡逑９逡逑

當(dāng)給定邊界條件，比如壁面速度Ｋ、６，端部壓強(qiáng)／７／、外等，便可以解出方逡逑程（２－１５）。以下根據(jù)幾種氣體薄層流動(dòng)給出其主要流動(dòng)參數(shù)的表達(dá)式及結(jié)果。逡逑圖２．１為兩平行平板間的流動(dòng)，從圖中可以看到，平行平板具有等間距，假設(shè)逡逑用％表示間距，并設(shè)平板長度為Ｉ、寬度為５。則平行平板的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)有兩種：固逡逑定不動(dòng)和相對(duì)運(yùn)動(dòng)，以下對(duì)這兩種情況分別討論。逡逑—邐Ｌ＿邐Ｊ逡逑＂＿—逡逑Ｕ邐Ｐｉ邐Ｋ逡逑Ｐｌ＾邐—－＿＾邐———逡逑ｆ邋ｙ逡逑／邋Ｘ／７Ｘ／邋／／／／／／／／／／／／／／／／／／／逡逑圖２．１兩平行平板間的流動(dòng)逡逑Ｆｉｇ２．１邋Ｔｈｅ邋ｆｌｏｗｉｎｇ邋ｂｅｔｗｅｅｎ邋ｔｗｏ邋ｐａｒａｌｌｅｌ邋ｐｌａｔｅｓ逡逑（１）兩平板固定不動(dòng)，流動(dòng)為沿Ｘ軸的一維流，００。此時(shí)兩端壓強(qiáng)分別為ＰＩ、逡逑／？２，兩板面上的速度ｗ＝０，即Ｚ＝０及化時(shí)，ｗ＝０。基本流動(dòng)方程為：逡逑ｄｐ邋ｄ１邋／Ｊ．邐／邐、逡逑——ｊ－邐（２－１７）逡逑ｃＵ邋ｄｚ２逡逑１邋）流速Ｗ、平均流速Ｗｍ以及最大流速Ｗｍａｘ逡逑９逡逑

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