【摘要】：隨著微納米測(cè)量系統(tǒng)中測(cè)頭微探球尺寸的不斷減小和測(cè)量不確定度要求的不斷提高,測(cè)力所引起的力變形誤差對(duì)測(cè)量系統(tǒng)不確定度有著不可忽略的影響。根據(jù)Hertz理論,構(gòu)建了微探球與工件接觸時(shí)的接觸模型、微探球與試樣力變形模型,給出了最大允許測(cè)力估計(jì)方法和力變形計(jì)算方法。以現(xiàn)有的3種微納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)微探球?yàn)閰⒖?分別估計(jì)了允許最大測(cè)力及引起的力變形。結(jié)果表明,對(duì)于納米量級(jí)測(cè)量不確定要求,接觸式測(cè)量中微探球的受力變形誤差是不可忽略的。
[Abstract]:With the decrease of the size of probe micro-probe ball and the improvement of measurement uncertainty in the micro-nano measurement system, the force deformation error caused by the force measurement has an important influence on the uncertainty of the measurement system. According to Hertz theory, the contact model between micro-probe ball and workpiece and the deformation model of micro-probe ball and sample force are constructed. The maximum allowable force estimation method and force deformation calculation method are given. Based on three kinds of micro-nano coordinate measuring machines (CMMs), the maximum allowable force and the deformation of the force are estimated respectively by using the micro-probe sphere of the existing micro-nano-CMM as a reference. The results show that the mechanical deformation error of the micro-probe sphere in the contact measurement is not negligible for the uncertainty requirement of the nanoscale measurement.
【作者單位】： 合肥工業(yè)大學(xué);
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51175141) 國家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(863計(jì)劃)資助重點(diǎn)項(xiàng)目(2008AA042409)
【分類號(hào)】：TH721

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：2450167