【摘要】：熱氣泡式微流體驅(qū)動器是微驅(qū)動的一個研究分支,是微流控器件的重要組成部分.熱氣泡式微流體驅(qū)動器沒有機械可動部件和機械變形,結構簡單、容易加工制造、可靠性高,在航空航天、生物醫(yī)學和化學等領域具有廣闊的應用前景.目前,熱氣泡式微流體驅(qū)動器主要采用4種加熱方式:電阻加熱、電磁感應加熱、激光加熱和電火花加熱.對以上4種熱氣泡式微驅(qū)動器的研究進展進行了總結,分析了不同加熱驅(qū)動方式的工作原理、結構組成、微加工制作方法、實驗測試結果和驅(qū)動特點,并對今后熱氣泡式微驅(qū)動器的發(fā)展趨勢及研究方法進行了分析.
[Abstract]:Thermal bubble micro-fluid actuator is a branch of micro-drive and an important part of micro-fluidic devices. Thermal bubble microfluid actuator has no mechanical movable parts and mechanical deformation, simple structure, easy to process and manufacture, and has high reliability. It has broad application prospects in aerospace, biomedical and chemical fields. At present, there are four kinds of heating methods: resistance heating, electromagnetic induction heating, laser heating and electric spark heating. The research progress of the four kinds of thermal bubble micro actuators is summarized. The working principle, structure composition, fabrication method, experimental test results and driving characteristics of different heating drive modes are analyzed. The development trend and research methods of thermal bubble micro actuators in the future are analyzed.
【作者單位】： 北京工業(yè)大學機械工程與應用電子技術學院;
【基金】：國家自然科學基金資助項目(51105011) 北京市教育委員會科技計劃項目(KM201210005015)
【分類號】：TH703

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2 范士\，

本文編號：2304162