【摘要】：基于光纖低相干干涉技術的測厚原理,提出了透鏡中心厚度檢測系統(tǒng)的結構設計;分析了影響檢測儀器檢測精度的主要因素,并分別從光路、電路設計及信號處理等方面,提出了提高檢測系統(tǒng)檢測精度的方法;同時將K-means聚類算法應用于多組干涉信號峰值識別和提取,有效提高了系統(tǒng)測量的重復精度。所設計的系統(tǒng)具有結構簡單、測量速度快等特點,測量精度優(yōu)于1μm。
[Abstract]:Based on the thickness measurement principle of optical fiber low coherent interferometry, the structural design of the thickness measurement system for the lens center is proposed, and the main factors affecting the measuring accuracy of the measuring instrument are analyzed, respectively, from the aspects of optical circuit, circuit design and signal processing, etc. At the same time, the K-means clustering algorithm is applied to identify and extract the peak value of multi-group interference signal, which can effectively improve the precision of repeated measurement of the system. The designed system has the advantages of simple structure, fast measuring speed, and the measuring precision is better than 1 渭 m.
【作者單位】： 東華大學理學院;
【基金】：國家自然科學基金資助項目(項目編號:51575099) 上海市自然科學基金資助項目(項目編號:15ZR1401700)
【分類號】：TH741

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本文編號：2291523