本文關(guān)鍵詞：納米壓痕儀的校準(zhǔn)及不確定度評定，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

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太原理工大學(xué)碩士研究生學(xué)位論文納米壓痕儀的校準(zhǔn)及不確定度評定摘要納米壓痕力學(xué)測量技術(shù)具有操作靈活簡單、測量分辨力高、對樣品無損或微損等優(yōu)點,廣泛用于金屬、微機電系統(tǒng)、復(fù)合材料、生物材料、薄膜涂層等材料力學(xué)性能的測試。商用的納米壓痕儀的位移和載荷傳感器都存在測量誤差,壓頭面積函數(shù)和理論模型也會有所偏差,這些誤差都會導(dǎo)致測量準(zhǔn)確度的下降,因此需要對商用的納米壓痕儀進行校準(zhǔn)。本文在位移因子已經(jīng)完成校準(zhǔn)的基礎(chǔ)上,對納米壓痕儀的壓頭面積函數(shù)和載荷因子進行了校準(zhǔn),并對納米壓痕力學(xué)測量系統(tǒng)的硬度和折合模量的測量不確定度進行了評定。主要研究工作及結(jié)果如下:1.玻式壓頭面積函數(shù)的校準(zhǔn)與溯源。針對玻式壓頭由于制造精度和磨損鈍化所導(dǎo)致幾何形狀的偏差對納米壓痕力學(xué)測量的影響,采用兩種方法對玻式壓頭面積函數(shù)進行校準(zhǔn):一種是通過熔融石英標(biāo)準(zhǔn)樣塊測量的間接校準(zhǔn)法,在該方法中首先校準(zhǔn)機架柔度,然后在熔融石英上進行一系列不同壓入深度的壓痕實驗,最后通過迭代方法得出壓頭面積函數(shù)。另一種方法是基于原子力顯微鏡的直接校準(zhǔn)法,在該方法采用了0.2Hz、0.5Hz和1Hz三種不同的掃描頻率對玻式壓頭尖端進行了掃描,通過擬合壓頭截面積與高度的關(guān)系得出與針尖高度... 內(nèi)容來自轉(zhuǎn)載請標(biāo)明出處.

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