【摘要】：針對光學(xué)反射鏡在精磨向初拋光過渡階段時(shí)面形與理想面形存在較大偏差的問題,采用輪廓儀和普通干涉儀檢測無法滿足加工檢測需求的問題,提出采用動(dòng)態(tài)范圍大且準(zhǔn)確度高的條紋反射法來檢測光學(xué)反射鏡.研究分析了條紋反射檢測系統(tǒng)的原理及系統(tǒng)誤差,運(yùn)用光線追跡軟件對條紋反射檢測100mm口徑反射鏡面形進(jìn)行建模仿真,并對已經(jīng)加工完成的100mm口徑旋轉(zhuǎn)對稱球面反射鏡進(jìn)行了檢測,測量得到的面形誤差峰谷值及均方根值分別為0.523μm和0.086μm,滿足該過渡階段的檢測需求.
[Abstract]:In view of the problem that there is a big deviation between the shape of the plane and the shape of the ideal surface in the transition stage of the optical mirror from grinding to initial polishing, it is difficult to use profilometer and common interferometer to meet the needs of processing inspection. In this paper, a high accuracy and wide dynamic range fringe reflection method is proposed to detect the optical reflector. The principle and system error of the fringe reflection detection system are studied and analyzed. The ray tracing software is used to model and simulate the fringe reflection detection of 100mm aperture reflection mirror. The surface error peak and valley value and root mean square value are 0.523 渭 m and 0.086 渭 m, respectively, which meet the needs of the transition phase.
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所中國科學(xué)院光學(xué)系統(tǒng)先進(jìn)制造技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國科學(xué)院大學(xué);
【基金】：國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(No.61036015)資助~~
【分類號】：TH74

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級參考文獻(xiàn)】

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本文編號：2199635