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回轉(zhuǎn)體測量機(jī)溫度誤差分析及補(bǔ)償

發(fā)布時間:2018-07-21 18:46
【摘要】:針對溫度對回轉(zhuǎn)體測量機(jī)測量精度所產(chǎn)生的影響,結(jié)合ANSYS軟件仿真及數(shù)學(xué)計算的方法研究了回轉(zhuǎn)體測量機(jī)受溫度影響產(chǎn)生的熱變形及測量誤差,分析了回轉(zhuǎn)體測量機(jī)溫度誤差的主要表現(xiàn)形式.建立了一個以測量架在x方向上的平移和在z方向的傾斜為基礎(chǔ)的誤差補(bǔ)償數(shù)學(xué)模型.采用雙環(huán)法對測量機(jī)溫度誤差進(jìn)行了補(bǔ)償,進(jìn)行了對比測量實(shí)驗(yàn),實(shí)驗(yàn)中分別測量工件上下兩個參考圓環(huán)的參數(shù),再利用提出的數(shù)學(xué)補(bǔ)償模型公式得出工件自身的誤差結(jié)果,繼而對測量結(jié)果進(jìn)行補(bǔ)償.實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)顯示:溫度誤差補(bǔ)償模型合理有效,測量機(jī)的重復(fù)性誤差從100μm以上下降為16μm左右,提出的溫度誤差補(bǔ)償模型可以有效降低溫度對測量機(jī)測量精度的影響,經(jīng)過誤差補(bǔ)償后的測量機(jī)可適用于溫度變化環(huán)境下的測量.
[Abstract]:In view of the influence of temperature on the measuring accuracy of rotary body measuring machine, the thermal deformation and measurement error caused by temperature are studied with ANSYS software simulation and mathematical calculation method. The main forms of temperature error of rotary body measuring machine are analyzed. A mathematical model of error compensation is established based on the translation of the measuring frame in the x direction and the tilt in the z direction. The double loop method is used to compensate the temperature error of the measuring machine, and a comparative measurement experiment is carried out. In the experiment, the parameters of the two reference rings of the workpiece are measured separately, and the error results of the workpiece itself are obtained by using the formula of the mathematical compensation model proposed. Then the measurement results are compensated. The experimental data show that the temperature error compensation model is reasonable and effective, and the repeatability error of the measuring machine decreases from 100 渭 m to about 16 渭 m. The proposed temperature error compensation model can effectively reduce the influence of temperature on the measuring accuracy of the measuring machine. The measuring machine after error compensation can be applied to the measurement under the environment of temperature change.
【作者單位】: 精密測試技術(shù)及儀器國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室(天津大學(xué));
【基金】:國家自然科學(xué)基金資助項目(51105272)
【分類號】:TH71

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級參考文獻(xiàn)】

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