本文選題：光學(xué)器件 + 微透鏡陣列��； 參考：《中國激光》2016年07期

【摘要】：針對傳統(tǒng)微透鏡陣列制作工藝復(fù)雜、成本高、周期長等缺點(diǎn),研究了一種低成本、高效率制作微透鏡陣列的技術(shù)方法。以SU-8負(fù)性光刻膠為主模結(jié)構(gòu)材料,采用2次紫外斜曝光工藝,加工出主光軸平行于硅基的微透鏡陣列作為主模結(jié)構(gòu)。依次采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)軟光刻技術(shù)和NOA73紫外曝光技術(shù)對主模結(jié)構(gòu)進(jìn)行復(fù)制得到PDMS和NOA73 2種材料的微透鏡陣列,用共聚焦顯微鏡觀察微透鏡陣列的表面形貌并搭建光學(xué)檢測平臺,測試微透鏡陣列的成像效果。結(jié)果顯示,NOA73材料的微透鏡陣列具有更好的光學(xué)性能。通過上述工藝加工的微透鏡陣列具有較好的成像效果和表面形貌,重復(fù)性好且加工周期短,可集成在微流式細(xì)胞儀中用于樣本流的熒光檢測,提高了檢測精度。
[Abstract]:A micro lens array with low cost and high efficiency is studied . The micro lens array is composed of PDMS ( PDMS ) soft lithography and NOA73 . The results show that the micro lens array of NOA73 material has better optical performance .

【作者單位】： 中北大學(xué)電子測試技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金項目(61401405,51475438) 山西省基礎(chǔ)研究項目(2014011021-4) 新世紀(jì)優(yōu)秀人才支持計劃資助項目(130951862)
【分類號】：TH74

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