本文選題：微位移工作臺 + 驅(qū)動器浮動　； 參考：《機械設(shè)計與制造》2014年10期

【摘要】：微位移工作臺在微機電系統(tǒng)、超精密加工和生物醫(yī)學(xué)工程等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用。設(shè)計了一種驅(qū)動器浮動的二維解耦微位移工作臺。工作臺采用雙層柔性鉸鏈桿對稱一體化結(jié)構(gòu),消除了X、Y方向的耦合運動。推導(dǎo)了微位移工作臺的理論剛度。為了驗證此微位移工作臺能夠滿足設(shè)計要求,采用有限元方法進行分析計算,有限元計算得到的微位移工作臺剛度與微位移工作臺的理論剛度吻合較好,并且通過有限元計算的結(jié)果驗證了工作臺在X、Y方向的運動無耦合。
[Abstract]:Micro-displacement table is widely used in micro-electromechanical system, ultra-precision machining and biomedical engineering.A two-dimensional decoupling micro displacement table with floating driver is designed.The table adopts double-layer flexure hinge bar symmetrical integrated structure, which eliminates the coupling motion in XY direction.The theoretical stiffness of the micro-displacement table is derived.In order to verify that the micro-displacement table can meet the design requirements, the finite element method is used to analyze and calculate. The stiffness of the micro-displacement table calculated by the finite element method is in good agreement with the theoretical stiffness of the micro-displacement table.The results of finite element analysis show that there is no coupling in the XY direction of the worktable.
【作者單位】： 合肥工業(yè)大學(xué)機械與汽車工程學(xué)院;
【基金】：合肥工業(yè)大學(xué)2012年國家級大學(xué)生創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)(訓(xùn)練、實踐)計劃項目(201210359001)
【分類號】：TH703

【參考文獻(xiàn)】

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1 沈健;尹大亮;朱仁勝;趙韓;;新型微步進旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器的設(shè)計與分析計算[J];合肥工業(yè)大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版);2010年05期

2 李蓓智;楊永金;楊建國;張家梁;徐源;;精密微位移工作臺的設(shè)計與性能分析[J];機械設(shè)計與研究;2008年04期

3 于靖軍;裴旭;畢樹生;宗光華;張憲民;;柔性鉸鏈機構(gòu)設(shè)計方法的研究進展[J];機械工程學(xué)報;2010年13期

4 夏一;杜綱;傅星;;隧道傳感系統(tǒng)微位移機構(gòu)的主從關(guān)聯(lián)優(yōu)化設(shè)計[J];機械工程學(xué)報;2012年09期

5 邱冰靜;程剛;顧偉;于敬利;;3-PRRS型微動并聯(lián)機構(gòu)工作空間分析及結(jié)構(gòu)優(yōu)化[J];機械設(shè)計與制造;2012年10期

6 沈健,朱仁勝,趙韓;單自由度微位移機構(gòu)柔性鉸鏈的研究[J];上海交通大學(xué)學(xué)報;2004年06期

7 吳鷹飛,周兆英;柔性鉸鏈的應(yīng)用[J];中國機械工程;2002年18期

【共引文獻(xiàn)】

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1 張棟;張玉林;李現(xiàn)明;魏強;;SECM微納米定位建模及控制器設(shè)計[J];微納電子技術(shù);2009年07期

2 周文聞;何廣平;;平面全柔性并聯(lián)機構(gòu)柔性鉸鏈的優(yōu)化分析[J];北方工業(yè)大學(xué)學(xué)報;2007年01期

3 范賢會;任軍;何廣平;;基于柔順機構(gòu)的撲翼飛行機器人研究[J];北方工業(yè)大學(xué)學(xué)報;2008年01期

4 石照耀;左序濤;林虎;;錐齒輪單項誤差測量儀器的研制[J];北京工業(yè)大學(xué)學(xué)報;2009年09期

5 孫明磊,宗光華,余志偉,畢樹生,于靖軍;基于圖像分析的顯微視覺自動聚焦系統(tǒng)[J];北京航空航天大學(xué)學(xué)報;2005年02期

6 黃永晶;阮文韜;;現(xiàn)代精度理論在精密測量儀器中的應(yīng)用[J];成都紡織高等�？茖W(xué)校學(xué)報;2011年04期

7 裴景洋;安志勇;曹維國;;一種汽車制動缸主孔內(nèi)壁疵病檢測方法的研究[J];長春理工大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版);2010年03期

8 權(quán)哲浩;林玉池;趙美蓉;李光鮮;齊永岳;;大行程納米級步進壓電微動臺的特性研究[J];傳感器與微系統(tǒng);2008年02期

9 魏亞東;;《光電儀器設(shè)計基礎(chǔ)》課程教學(xué)的探索與構(gòu)思[J];東莞理工學(xué)院學(xué)報;2009年01期

10 魏亞東;李洪濤;胡西多;楊雷;;淺談光電儀器設(shè)計基礎(chǔ)課程教學(xué)改革策略與方法[J];東莞理工學(xué)院學(xué)報;2012年03期

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3 于秋水;基于圖像處理方法的光學(xué)瞄具自動調(diào)焦技術(shù)研究[D];長春理工大學(xué);2011年

4 王志軍;基于激光雷達(dá)測量原理的火箭推力線測量技術(shù)研究[D];長春理工大學(xué);2011年

5 周擎坤;柔順直線導(dǎo)向與緩沖機構(gòu)設(shè)計問題研究[D];國防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2011年

6 柳華;一種新型紅外傅里葉光譜儀全柔性動鏡系統(tǒng)的仿真設(shè)計與分析[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機械與物理研究所）;2011年

7 沈傳亮;壓電型直動式電液伺服閥的基本理論與實驗研究[D];吉林大學(xué);2006年

8 劉彥伯;納米壓印復(fù)型精度控制研究[D];同濟大學(xué);2006年

9 俞必強;多學(xué)科設(shè)計優(yōu)化及在MEMS設(shè)計中應(yīng)用的研究[D];北京科技大學(xué);2006年

10 紀(jì)華偉;壓電陶瓷驅(qū)動的微位移工作臺建模與控制技術(shù)研究[D];浙江大學(xué);2006年

【二級參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 于靖軍,畢樹生,宗光華;空間全柔性機構(gòu)位置分析的剛度矩陣法[J];北京航空航天大學(xué)學(xué)報;2002年03期

2 邱麗芳;南鐵玲;翁海珊;;柔性鉸鏈運動性能多目標(biāo)優(yōu)化設(shè)計[J];北京科技大學(xué)學(xué)報;2008年02期

3 杜綱;產(chǎn)品族設(shè)計中的層次關(guān)聯(lián)協(xié)同優(yōu)化[J];工業(yè)工程;2005年05期

4 劉建芳;楊志剛;趙宏偉;程光明;;新型壓電精密步進旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器[J];吉林大學(xué)學(xué)報(工學(xué)版);2006年05期

5 孫寶玉,林潔瓊,王登月,任建岳;壓電驅(qū)動超精密定位工作臺的研究[J];機械設(shè)計與研究;2003年02期

6 于靖軍,畢樹生,宗光華;柔性平行導(dǎo)向機構(gòu)的靜剛度分析[J];機械科學(xué)與技術(shù);2003年02期

7 劉登云;楊志剛;吳麗萍;程光明;;應(yīng)用于壓電疊堆泵的柔性鉸鏈放大機構(gòu)的設(shè)計和性能分析[J];機械設(shè)計;2007年04期

8 趙然;李艷文;趙鐵石;;微機器人的研究現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢[J];機械設(shè)計;2009年02期

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本文編號：1764237