本文選題：測(cè)量 + 瑞奇-康芒��； 參考：《光學(xué)學(xué)報(bào)》2014年01期

【摘要】：為實(shí)現(xiàn)高精度瑞奇-康芒法檢測(cè),利用檢測(cè)系統(tǒng)光瞳面與被測(cè)平面鏡二者間的坐標(biāo)轉(zhuǎn)換關(guān)系,結(jié)合最小二乘法直接對(duì)測(cè)得的系統(tǒng)波像差進(jìn)行恢復(fù),通過(guò)兩角度檢測(cè)分離由光路調(diào)整引入的離焦誤差,得到更為精準(zhǔn)的平面鏡面形。分析光路中測(cè)試距離對(duì)坐標(biāo)轉(zhuǎn)換關(guān)系以及瑞奇角求解精度的影響,根據(jù)仿真分析結(jié)果確定實(shí)驗(yàn)方案。實(shí)驗(yàn)中采用兩角度檢測(cè),對(duì)測(cè)試波前進(jìn)行恢復(fù)并分離系統(tǒng)調(diào)整誤差后,最終得到被檢平面鏡面形,結(jié)果峰谷(PV)值為0.182λ、均方根(RMS)值為0.0101λ,對(duì)比干涉儀直接檢測(cè)結(jié)果 PV值為0.229λ、RMS值為0.013λ,PV檢測(cè)精度優(yōu)于λ/20,RMS檢測(cè)精度優(yōu)于λ/100,實(shí)驗(yàn)結(jié)果證明了此種面形恢復(fù)方法的有效性以及測(cè)試距離精度分析理論的正確性,從而實(shí)現(xiàn)了瑞奇-康芒法高精度檢測(cè)。
[Abstract]:In order to realize the high precision Raychi-Conmao method, the system wavefront aberration was recovered directly by using the coordinate transformation relationship between the pupil surface and the plane mirror, and the least square method was used to directly recover the measured wavefront aberration.A more accurate plane mirror can be obtained by detecting the defocus error caused by adjusting the optical path in two angles.The influence of measuring distance in optical path on coordinate conversion relation and precision of Ricky angle solution is analyzed. The experimental scheme is determined according to the simulation results.In the experiment, the two angle detection is used to recover the test wavefront and to separate the system adjustment error, and finally the plane mirror shape is obtained.Results the VV value of peak-valley is 0.182 位, the RMS value of root mean square is 0.0101 位, the PV value of direct detection by contrast interferometer is 0.229 位 / L RMS value 0.013 位 / L PV detection precision is better than 位 / 20 RMS detection precision is better than 位 / 100. The experimental results show the effectiveness of this method and the measurement accuracy.The correctness of the theory of precision analysis of trial distance,Thus, the high precision detection of Rich-Conmao method is realized.
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);
【基金】：國(guó)家863計(jì)劃(2012AA040503) 國(guó)家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目(11034007)
【分類(lèi)號(hào)】：TH741

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1747801