本文選題：測(cè)量 + 功率譜密度�。� 參考：《中國(guó)激光》2016年09期

【摘要】：為了探究不同干涉儀對(duì)中頻誤差的響應(yīng)規(guī)律,獲得相對(duì)真實(shí)的功率譜密度(PSD)分布,分別利用4D AccuFiz、ZYGO DynaFiz以及ZYGO GPI三臺(tái)干涉儀檢測(cè)周期性波紋和劃痕樣品,并對(duì)一維實(shí)測(cè)PSD曲線進(jìn)行對(duì)比分析。結(jié)果表明,不同干涉儀對(duì)中高頻信息的響應(yīng)度不同;干涉儀分辨率越高,響應(yīng)度越高。利用儀器傳遞函數(shù)(ITF)曲線對(duì)實(shí)測(cè)PSD分布進(jìn)行了修正,獲得了較為真實(shí)的PSD分布。在某些頻率范圍內(nèi),標(biāo)定的ITF曲線和實(shí)際響應(yīng)仍存在差異。
[Abstract]:In order to investigate the response of different interferometers to intermediate frequency errors and obtain the relative true power spectral density (PSD) distribution, the periodic ripple and scratch samples were detected by 4D AccuFizo ZYGO DynaFiz and ZYGO GPI interferometers, respectively.The one-dimensional measured PSD curves are compared and analyzed.The results show that different interferometers have different responsivity to middle and high frequency information, and the higher the resolution of interferometer is, the higher the response degree is.The measured PSD distribution is modified by means of the instrument transfer function (ITF) curve, and a more real PSD distribution is obtained.In some frequency ranges, there is still a difference between the calibrated ITF curve and the actual response.
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所高功率激光物理國(guó)家實(shí)驗(yàn)室;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);
【分類號(hào)】：TH744.3

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