本文選題：干涉測(cè)量　切入點(diǎn)：微球　出處：《中國(guó)激光》2015年05期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：針對(duì)微球移相干涉測(cè)量中系統(tǒng)校準(zhǔn)差及離焦引入的線性移相誤差對(duì)相位信息提取產(chǎn)生的影響及特點(diǎn),在分析了常用移相算法應(yīng)用缺陷的基礎(chǔ)上,構(gòu)造了新的五幀算法。該算法對(duì)線性移相誤差的響應(yīng)特性與Hariharan算法十分接近,且符號(hào)相反。通過(guò)兩種算法的互補(bǔ)修正,使得相位解算誤差理論上較之Hariharan算法降低了兩個(gè)數(shù)量級(jí),大幅提高了定步長(zhǎng)移相算法的線性誤差抑制能力,且避免出現(xiàn)類似任意步長(zhǎng)算法奇異相位解的異常情況,運(yùn)算更為簡(jiǎn)潔。最后通過(guò)測(cè)量實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了提出的誤差互補(bǔ)修正相位提取方法的可行性和有效性。
[Abstract]:In view of the influence and characteristics of the system calibration error and the linear phase shift error introduced by defocusing on the phase information extraction in the microsphere phase shift interferometry, the application defects of common phase shift algorithms are analyzed. A new five-frame algorithm is constructed. The response characteristic of the algorithm to the linear phase shift error is very close to that of the Hariharan algorithm, and the symbol is opposite. Through the complementary correction of the two algorithms, the phase resolution error is reduced by two orders of magnitude in theory compared with the Hariharan algorithm. The linear error suppression ability of the fixed step size phase shift algorithm is greatly improved, and the abnormal situation of singular phase solution similar to the arbitrary step size algorithm is avoided. Finally, the feasibility and effectiveness of the proposed phase extraction method with complementary error correction are verified by measurement experiments.
【作者單位】： 哈爾濱工業(yè)大學(xué)電氣工程及自動(dòng)化學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(61275096,51275120) 哈爾濱工業(yè)大學(xué)科研創(chuàng)新基金(HIT.NSRIF201098)
【分類號(hào)】：TH744.3

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1607288