本文關(guān)鍵詞：高精度測(cè)量的特種SPM技術(shù)及儀器　出處：《中國(guó)科學(xué):物理學(xué) 力學(xué) 天文學(xué)》2016年11期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：測(cè)量過程中,測(cè)量的準(zhǔn)確程度與測(cè)量?jī)x器間的作用力是極其重要的,為此需準(zhǔn)確測(cè)量微納尺度材料的機(jī)械、電子、磁、光以及化學(xué)特性.同時(shí),掃描探針顯微鏡(Scanning Probe Microscope,SPM)及其相關(guān)技術(shù)擁有確定探針針尖與樣品間作用力的能力,因此,本文主要就微納尺度的高精度SPM測(cè)量技術(shù)及儀器做一簡(jiǎn)單的介紹和回顧.首先介紹了原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope,AFM)、掃描隧道顯微鏡(Scanning Tunnel Microscope,STM)及其相關(guān)技術(shù)原理,其次重點(diǎn)介紹了常溫/低溫STM、自旋極化(Spin Polarization,SP)-STM、AFM等儀器本身的關(guān)鍵技術(shù)及搭建難點(diǎn),并介紹了運(yùn)用上述儀器取得的典型成果;再次,介紹了國(guó)內(nèi)外運(yùn)用極端環(huán)境(超低溫、超高真空)與常溫、大氣環(huán)境的AFM、STM在特殊區(qū)域微納尺度測(cè)量、基于探針技術(shù)的微納電子器件表征與控制,以及SPM操控技術(shù)的典型成果最新進(jìn)展;最后,介紹了本研究小組運(yùn)用超高真空AFM在磁性材料表征與測(cè)量方面的進(jìn)展.總之,通過本文對(duì)SPM高精度測(cè)量及其應(yīng)用的回顧與介紹,對(duì)SPM的關(guān)鍵組成部分、關(guān)鍵技術(shù)及最新發(fā)展有了更深的認(rèn)識(shí).SPM的先進(jìn)性、用戶的友好體驗(yàn)以及具有鮮明應(yīng)用指向性的特點(diǎn),有望在原子/分子科學(xué)、納機(jī)電系統(tǒng)(Nanoelectro Mechanical System,NEMS)等領(lǐng)域有重要的應(yīng)用.
【作者單位】： 中北大學(xué)電子測(cè)試技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中北大學(xué)儀器科學(xué)與動(dòng)態(tài)測(cè)試教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中北大學(xué)儀器與電子學(xué)院;大阪大學(xué) 應(yīng)用物理系;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(編號(hào):61274103,61503346,51411140037,91336110) 山西省青年科技研究基金(編號(hào):20140210023-2)資助項(xiàng)目
【分類號(hào)】：TH742
【正文快照】： 1研究背景 微納測(cè)量技術(shù)從理解的角度看可以與宏觀領(lǐng)域的測(cè)量相對(duì)應(yīng),通過確定結(jié)構(gòu)的表面形貌、電學(xué)特性等物理化學(xué)性質(zhì),研究材料(結(jié)構(gòu))在微納尺度獨(dú)特的性質(zhì).研究表明,隨著尺寸的減小,測(cè)量?jī)?nèi)容的多樣性和尺度效應(yīng)變得越來越重要.在納米尺度,結(jié)構(gòu)的三維尺寸幾乎完全決定了結(jié)構(gòu)

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2 于桂臻;精密測(cè)量不需先對(duì)準(zhǔn)儀器零位[J];中國(guó)計(jì)量;2004年03期

3 李學(xué)芳;;從精密測(cè)量入手,大搞群眾運(yùn)動(dòng),突破質(zhì)量關(guān)鍵[J];計(jì)量工作;1960年05期

4 英;;精密測(cè)量薈萃東京[J];航空精密制造技術(shù);1990年01期

5 歲豐;自動(dòng)三座標(biāo)精密測(cè)量系統(tǒng)的發(fā)展[J];管理科學(xué)文摘;1996年04期

6 彭東林,劉成康,譚為民;圓分度靜態(tài)精密測(cè)量新方法[J];機(jī)械工程學(xué)報(bào);2000年12期

7 張曉萍;精密測(cè)量中粗差及含棄環(huán)值的判別[J];云南電力技術(shù);2000年04期

8 許建國(guó);超長(zhǎng)工件的精密測(cè)量[J];機(jī)械工人.冷加工;2000年02期

9 劉興富;;變速鼓的經(jīng)濟(jì)加工和精密測(cè)量[J];現(xiàn)代零部件;2006年02期

10 胡禮廣;蔣洪奎;;超精密測(cè)量關(guān)鍵技術(shù)的研究動(dòng)態(tài)[J];新技術(shù)新工藝;2006年05期

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1 袁新江;姜洋;汪磊磊;顧吉豐;費(fèi)慶國(guó);;大型精密測(cè)量設(shè)備的微振研究[A];中國(guó)電子學(xué)會(huì)電子機(jī)械工程分會(huì)2009年機(jī)械電子學(xué)學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2009年

2 葉君建;何鉅華;傅思祖;黃秀光;謝志勇;;等熵稀疏靶的制備及靶參數(shù)精密測(cè)量[A];第五屆北京核學(xué)會(huì)核技術(shù)應(yīng)用學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集[C];2008年

3 康巖輝;邾繼貴;楊凌輝;羅志勇;葉聲華;;標(biāo)準(zhǔn)硅球直徑精密測(cè)量中光束對(duì)準(zhǔn)誤差分析[A];高精度幾何量光電測(cè)量與校準(zhǔn)技術(shù)研討會(huì)論文集[C];2008年

4 邾繼貴;葉聲華;;工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)近景數(shù)字?jǐn)z影視覺精密測(cè)量[A];第五屆海峽兩岸計(jì)量與質(zhì)量學(xué)術(shù)研討會(huì)論文集[C];2004年

5 李敏;;精密測(cè)量與先進(jìn)制造技術(shù)課程實(shí)施方案的研究[A];中國(guó)職協(xié)2013年度優(yōu)秀科研成果獲獎(jiǎng)?wù)撐募ㄏ聝?cè)）[C];2013年

6 王為;王翔;陳宏;翁繼東;;一套應(yīng)用于二級(jí)輕氣炮實(shí)驗(yàn)的緊湊型全光纖激光彈速精密測(cè)量系統(tǒng)的研制[A];第十三屆全國(guó)光學(xué)測(cè)試學(xué)術(shù)討論會(huì)論文（摘要集）[C];2010年

7 韓劍;馮雪;李長(zhǎng)俊;;基于容柵技術(shù)的液位精密測(cè)量[A];2008中國(guó)儀器儀表與測(cè)控技術(shù)進(jìn)展大會(huì)論文集（Ⅰ）[C];2008年

8 王曉東;張習(xí)文;羅怡;朱萃;王林;;微小型零件自動(dòng)裝配中的精密測(cè)量與控制[A];2010中國(guó)儀器儀表學(xué)術(shù)、產(chǎn)業(yè)大會(huì)（論文集1）[C];2010年

9 向陽(yáng);;精密測(cè)量大曲率半徑和焦距的方法[A];第九屆全國(guó)光學(xué)測(cè)試學(xué)術(shù)討論會(huì)論文（摘要集）[C];2001年

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1 盧敬叁;激光———高精密測(cè)量的“功臣”[N];中國(guó)國(guó)門時(shí)報(bào);2005年

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1 范玲;調(diào)制偏振光在光學(xué)精密測(cè)量和方位信息傳遞中的應(yīng)用研究[D];北京郵電大學(xué);2006年

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1 葉云霞;邊沿效應(yīng)及其在精密測(cè)量中的應(yīng)用[D];西安電子科技大學(xué);2014年

2 姚靜遠(yuǎn);植物生長(zhǎng)量實(shí)時(shí)精密測(cè)量裝置[D];中國(guó)計(jì)量學(xué)院;2015年

3 廖明易;適用于三維精密測(cè)量的氣浮平臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與靜動(dòng)態(tài)特性分析[D];廣東工業(yè)大學(xué);2016年

4 王益民;同步相移剪切干涉在線表面精密測(cè)量研究[D];華中科技大學(xué);2007年

5 徐峰;空間凸輪精密測(cè)量及數(shù)字化逆向工程關(guān)鍵技術(shù)的研究[D];陜西科技大學(xué);2007年

6 吳紀(jì)國(guó);數(shù)字圖像處理技術(shù)在幾何量精密測(cè)量中的應(yīng)用研究[D];中國(guó)工程物理研究院;2005年

7 郝宏大;薄壁回轉(zhuǎn)體幾何參數(shù)精密測(cè)量的軌跡規(guī)劃[D];大連理工大學(xué);2008年

8 駱者斌;超大工件曲率的精密測(cè)量[D];南京理工大學(xué);2012年

9 楊振宙;機(jī)動(dòng)式空饋相控陣彈道精密測(cè)量雷達(dá)結(jié)構(gòu)精度分析[D];南京理工大學(xué);2007年

10 馬騰;高鐵CPⅢ精密測(cè)量實(shí)時(shí)核檢嵌入式系統(tǒng)[D];長(zhǎng)安大學(xué);2014年

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