本文關(guān)鍵詞：硅微諧振加速度計高精度相位閉環(huán)控制系統(tǒng)設計與實現(xiàn)　出處：《中國慣性技術(shù)學報》2014年05期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：硅微諧振加速度計因具有小體積優(yōu)勢和高精度潛力,成為硅微慣性傳感器研制的熱點之一。高精度相位閉環(huán)控制系統(tǒng)是決定硅微諧振加速度計精度水平的重要因素。在分析硅微諧振加速度計工作機理的基礎上,從閉環(huán)控制系統(tǒng)設計的角度,分析了相位閉環(huán)控制回路的原理,提出了一種可以消除勻加速誤差的高精度三階無靜差相位閉環(huán)控制方案。給出了設計思路,研究了環(huán)路性能測試方法,討論了閉環(huán)系統(tǒng)相位誤差的來源與抑制方法。所設計的閉環(huán)回路在0.1 Hz處靜態(tài)增益為170 dB,啟動時間小于20 ms,實測帶寬為432 Hz,全溫范圍內(nèi)相位閉環(huán)回路相差變化0.84°,系統(tǒng)參數(shù)滿足設計指標。
【作者單位】： 北京航天控制儀器研究所;
【基金】：國防基礎科研項目支持(A0320110013)
【分類號】：TH824.4
【正文快照】： 硅微諧振加速度計是一種新型加速度計,與傳統(tǒng)電容式加速度計位移敏感原理不同,其利用力敏感原理,通過諧振結(jié)構(gòu)輸出與外界輸入加速度成比例的頻率信號,無需A/D轉(zhuǎn)換電路即可與數(shù)字電路接口,大大簡化了處理電路,在保持MEMS儀表小體積、低功耗等特點的同時,為進一步提高MEMS慣性儀

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5 胡m，

本文編號：1313855