本文關(guān)鍵詞：微加速度計(jì)在高沖擊下的斷裂失效分析　出處：《儀表技術(shù)與傳感器》2014年02期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：針對(duì)微加速度計(jì)在沖擊環(huán)境下的斷裂失效問(wèn)題,利用靜態(tài)分析方法分析硅微加速度計(jì)在沖擊環(huán)境下的受力情況,得出微加速度計(jì)能承受的最大沖擊加速度為2.69×105g.對(duì)硅微加速度計(jì)進(jìn)行動(dòng)態(tài)加速度沖擊仿真和3個(gè)方向的正弦應(yīng)力沖擊仿真,通過(guò)仿真得出在3 ms內(nèi)施加2.5×105g的沖擊加速度時(shí)會(huì)使得微加速度計(jì)斷裂失效,在正弦沖擊下微加速度計(jì)在工作方向上能夠承受的最大沖擊力為4.1 kN;x、z軸方向正弦變化的力會(huì)使微加速度計(jì)質(zhì)量塊端處的梁根部易受剪切應(yīng)力影響,使得該處發(fā)生斷裂。該仿真結(jié)果對(duì)微加速度計(jì)沖擊環(huán)境下的可靠性強(qiáng)化試驗(yàn)設(shè)計(jì)和失效分析提供理論依據(jù)。
【作者單位】： 儀器科學(xué)與動(dòng)態(tài)測(cè)試教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 中北大學(xué);電子測(cè)試技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 中北大學(xué);洛陽(yáng)理工學(xué)院工程訓(xùn)練中心;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(50730009;51075374)
【分類號(hào)】：TH824.4
【正文快照】： 0引言近年來(lái),MEMS技術(shù)不斷發(fā)展,因其具有可大批量生產(chǎn)、成本低、功耗小和集成化等特點(diǎn),其應(yīng)用越來(lái)越多。其中,硅微加速度計(jì)廣泛應(yīng)用于工業(yè)、航天和國(guó)防技術(shù)等領(lǐng)域,如飛機(jī)、船舶用的穩(wěn)定和控制系統(tǒng)、機(jī)器狀態(tài)檢測(cè)系統(tǒng)等。而在制造、測(cè)試以及運(yùn)輸過(guò)程中,硅微加速度計(jì)極易受到?jīng)_

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本文編號(hào)：1313603