本文關鍵詞：工藝誤差對電容式微加速度計溫度漂移的影響（英文）　出處：《強激光與粒子束》2016年06期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：利用有限元方法,仿真分析了深反應離子刻蝕工藝造成的折疊梁寬度誤差對電容式微加速度計溫度漂移的影響。在存在工藝誤差和保證微加速度計靈敏度恒定的前提下,增大了折疊梁設計寬度,計算了不同寬度下微加速度計的溫度漂移量。結果表明:刻蝕工藝誤差越大,微加速度計溫度漂移量越大。折疊梁設計寬度為4.5μm和6.5μm時,最大溫度漂移量分別為2.42mg/℃和1.71mg/℃,因此通過適當?shù)卦龃笤O計尺寸,可以有效地減小微加速度計的溫度漂移量。
【作者單位】： 電子科技大學機械電子工程學院;電子科技大學機器人研究中心;中國工程物理研究院電子工程研究所;
【基金】：supported by NSAF(U1530132) National Natural Science Foundation of China(51505068,51575090) Fundamental Research Funds for the central universities(ZYGX2013J097)
【分類號】：TH824.4
【正文快照】： Microelectromechanical　system(MEMS)technology　integrates　mechanical　elements,sensors,actuatorsand　electronics　onto　a　common　substrate　by　applying　so　called　microfabrication[1-3].With　the　development　ofmicrofabrication　technology,MEMS　d

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1 劉曉e，

本文編號：1313105