本文關(guān)鍵詞：基于子孔徑拼接法測量高精度反射鏡

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【摘要】：為了解決高精度光學(xué)反射鏡的子孔徑拼接檢測問題,基于最小二乘擬合,依據(jù)拼接算法建立數(shù)學(xué)模型,編制了拼接程序,同時(shí)對口徑為Φ120mm的平面反射鏡進(jìn)行了拼接檢測。檢測中,基于標(biāo)記點(diǎn)確定子孔徑間的相對位置,完成子孔徑間的對準(zhǔn)。分別基于全口徑檢測結(jié)果與自檢驗(yàn)子孔徑測試結(jié)果對拼接結(jié)果進(jìn)行精度分析。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:拼接結(jié)果無"拼痕",拼接結(jié)果與全口徑測試結(jié)果、自檢驗(yàn)子孔徑測試結(jié)果一致;拼接結(jié)果與全口徑面形測試的PV值與RMS值的偏差分別為0.020λ與0.002λ,驗(yàn)證了檢測的可靠性和準(zhǔn)確性。
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所中國科學(xué)院光學(xué)系統(tǒng)先進(jìn)制造技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：863基金資助項(xiàng)目(O8663NJ090) 973基金資助項(xiàng)目(2011CB0132005) 國家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目(61036015)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 引言大口徑光學(xué)平面鏡的檢測,在傳統(tǒng)光學(xué)檢測中,通常需要配備大口徑干涉儀或者搭建Ritchey-common形式的檢驗(yàn)光路[1-2],這時(shí)往往需要一塊與被檢元件尺寸相同甚至更大尺寸的參考光學(xué)平面或球面,然而制造和檢測大口徑參考平面鏡和球面鏡存在很多的困難,并且所需的時(shí)間很長,費(fèi)用

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10 鄭婉U，

本文編號：1304468