發(fā)布時間：2017-12-07 05:23

  本文關(guān)鍵詞：磁控濺射制備持久性銀反射鏡研究

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【摘要】：研究了磁控濺射制備Sub/NiCrN_x/Ag/NiCrN_x/SiN_x/Air多層結(jié)構(gòu)銀反射鏡的特性,分析了N_2對Ag薄膜、介質(zhì)保護層及銀反射鏡光譜的影響。采用深度剖析X射線光電子能譜和透射電子顯微鏡分析了銀反射鏡短波波段(400~500nm)反射率偏低的原因。采用分光光度計、掃描電子顯微鏡和X射線衍射儀研究了N_2占比對Ar/N_2混合氣體濺射制備單層銀膜光學性質(zhì)、表面形貌及晶向結(jié)構(gòu)的影響,比較了不同Ar/N_2比例混合氣體濺射制備銀反射鏡的反射率,并分析了對應(yīng)樣品SiN_x保護層的化學計量比。實驗結(jié)果顯示,濺射制備銀膜時,在Ar中引入一定比例的N_2,SiN_x保護層的化學計量比得到改善。當N_2體積比由0上升至40%時,Ar/N_2混合氣體濺射制備的銀反射鏡在400nm波長處反射率由71.7%提高到79.3%。此外,基于Ar/N_2混合氣體濺射濺射制備的銀反射鏡樣品具備優(yōu)良的環(huán)境穩(wěn)定性。
【作者單位】： 中國科學院光電技術(shù)研究所;中國科學院大學;電子科技大學光電信息學院;
【分類號】：TH751
【正文快照】： 2中國科學院大學,北京1000493電子科技大學光電信息學院,四川成都6100541203002-1天文望遠鏡作為人類觀察宇宙的重要工具,其探測能力和空間分辨率主要受主鏡口徑的限制。隨著科學技術(shù)的發(fā)展,天文望遠鏡口徑越來越大,大口徑主鏡鍍膜已成為關(guān)注焦點[1]。一般情況下,主鏡膜層需要

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