本文關(guān)鍵詞：靜壓氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)熱特性

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【摘要】：以開(kāi)發(fā)滿足精密工程應(yīng)用的靜壓氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)為目標(biāo),研究靜壓氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)結(jié)構(gòu)的熱穩(wěn)定性.首先,分析了靜壓氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)的發(fā)熱-傳熱特性,建立了三維熱特性有限元模型,計(jì)算了氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)的溫度場(chǎng)云圖;用間接耦合的分析方法,將溫度場(chǎng)作加載條件,進(jìn)行轉(zhuǎn)臺(tái)熱-結(jié)構(gòu)耦合分析;然后,對(duì)比研究了兩種直驅(qū)電機(jī)安置結(jié)構(gòu)對(duì)轉(zhuǎn)臺(tái)熱穩(wěn)定性的影響,提出了靜壓氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)的空氣強(qiáng)制對(duì)流冷卻方案;最后,完成了無(wú)框力矩電機(jī)后置式靜壓氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)的溫度場(chǎng)檢測(cè)實(shí)驗(yàn).實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,靜壓氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)測(cè)試點(diǎn)的計(jì)算與實(shí)測(cè)溫度的最大誤差為1.93℃,穩(wěn)態(tài)溫度場(chǎng)分布計(jì)算精度較高;溫度分布穩(wěn)態(tài)時(shí),氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)止推軸承氣膜單側(cè)間隙的變化量為0.55μm,在空氣軸承氣膜設(shè)計(jì)允許的波動(dòng)范圍內(nèi),對(duì)軸承性能不產(chǎn)生明顯的影響.電機(jī)后置式直驅(qū)靜壓氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)結(jié)構(gòu)的熱穩(wěn)定性好,適合工業(yè)應(yīng)用.
【作者單位】： 北方工業(yè)大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院;
【基金】：北京市人才強(qiáng)教計(jì)劃資助項(xiàng)目(PHR201108053) 北京市教委科技計(jì)劃資助項(xiàng)目(KM200910009005)
【分類(lèi)號(hào)】：TH703;TH133.36
【正文快照】： 靜壓氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)系統(tǒng)中集成了靜壓空氣軸承技術(shù)和直驅(qū)技術(shù),可實(shí)現(xiàn)微摩擦、無(wú)磨損和“零傳動(dòng)”,具有高精度、高速度、高加速度的運(yùn)動(dòng)性能,可適應(yīng)超精密、無(wú)污染等極限工作環(huán)境,廣泛用于先進(jìn)電子制造業(yè)、生物及醫(yī)學(xué)設(shè)備、微機(jī)電系統(tǒng)制造、激光檢測(cè)、航空和國(guó)防等精密工程領(lǐng)域.

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本文編號(hào)：1257362