發(fā)布時間：2017-12-05 09:10

  本文關鍵詞：時分復用數(shù)字閉環(huán)電容式微加速度計接口電路

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【摘要】：為實現(xiàn)電容式微加速度計的數(shù)字輸出閉環(huán),設計了一種數(shù)字輸出閉環(huán)ASIC(Application Specific Integrated Circuit)接口電路,以降低電路輸出噪聲并提高測量量程。對已有的電容式微加速度計ASIC電路進行了改進,分時段在中間極板上加載差分電容讀出信號和由脈寬調變(PWM)波控制的反饋信號,然后由控制器實現(xiàn)閉環(huán),利用Sigma Delta調制器實現(xiàn)模數(shù)轉換。通過分析差分電容讀出電路和Sigma Delta調制器的原理和特性,建立了該數(shù)字輸出閉環(huán)電容式微加速度計的模型,進行了系統(tǒng)的設計與仿真。實驗結果表明,該數(shù)字輸出閉環(huán)電容式微加速度計的噪聲水平為9.6μg/√Hz,量程為±3g。這些結果驗證了時分復用方案的可行性和本文所提出模型的正確性。
【作者單位】： 清華大學精密儀器系精密測試技術及儀器國家重點實驗室;清華大學微電子學研究所;
【基金】：十二五預研資助項目(No.20114113015)
【分類號】：TH824.4
【正文快照】： 1引言微加速度計是一種利用微機械加工工藝制造的慣性傳感器,因具備體積小、噪聲低、精度高等優(yōu)點被廣泛應用于慣性導航、汽車安全、智能手機等領域[1]。電容式閉環(huán)微加速度計通過檢測敏感質量塊的位移變化趨勢并施加靜電反饋力,保持動極板在平衡位置,其施加的靜電力可反映輸

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1 劉曉e，

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