本文關(guān)鍵詞：硼摻雜硅翹曲對微加速度計靈敏度的影響

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【摘要】：研究了硼摻雜引起的結(jié)構(gòu)翹曲量對微加速度計性能的影響,獲取指導(dǎo)微加速度計設(shè)計更為準(zhǔn)確的物理模型。通過解析計算,結(jié)合有限元仿真及實驗等方法,研究了不同硼擴(kuò)散深度對微加速度計靈敏度的影響,得出了不同摻雜狀態(tài)下微加速度計靈敏度與結(jié)構(gòu)翹曲量之間的關(guān)系表達(dá)式。理論分析與測試結(jié)果表明,考慮翹曲變形的微加速度計的靈敏度比無翹曲時的微加速度計靈敏度減小了約5 m V/g,而當(dāng)硼擴(kuò)散深度從90μm變化到120μm時,靈敏度變化量約為2 m V/g。硼摻雜引起的翹曲變形使微加速度計的靈敏度降低,且隨著擴(kuò)散深度增加,靈敏度增大。
【作者單位】： 電子科技大學(xué)機(jī)械電子工程學(xué)院;中國工程物理研究院電子工程研究所;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(U1530132,51505068,51575090) 中央高�；究蒲袠I(yè)務(wù)費(fèi)專項資金(ZYGX2015J085,ZYGX2014Z004)
【分類號】：TP212;TH824.4
【正文快照】： 硅微電容式加速度計是將敏感方向上的加速度輸入轉(zhuǎn)化為電容輸出的微慣性傳感器。相對于傳統(tǒng)的慣性傳感器,硅微電容式加速度計具有小型化、低成本、低功耗、高性能等優(yōu)點[1]。隨著MEMS(micro-electro-mechanical systems)技術(shù)的不斷發(fā)展成熟,微加速度計的應(yīng)用開始從中低端領(lǐng)域

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1 劉曉e，

本文編號：1253309