本文關鍵詞：光刻投影物鏡中X-Y向柔性調(diào)節(jié)機構設計

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【摘要】：X-Y向柔性調(diào)節(jié)機構應用于光刻投影物鏡中光學元件X-Y方向偏心位置補償�；谌嵝糟q鏈,設計柔性二級減速機構,并將之應用到新型的一體式X-Y向柔性調(diào)節(jié)機構上。在對機構原理進行分析的基礎上,對X-Y向柔性調(diào)節(jié)機構結構參數(shù)進行了優(yōu)化設計。進一步,運用有限元分析法,分析了該X-Y向柔性調(diào)節(jié)機構的性能。分析結果表明,該機構調(diào)節(jié)行程大于±20μm,機構位移輸入?輸出關系穩(wěn)定,傳動比約11.9,理論調(diào)節(jié)精度約8.4 nm,機構單方向驅動剛度為0.473μm/N;機構開環(huán)單軸運動時,耦合誤差與主運動比值為7.1%;機構1階模態(tài)頻率大于200 Hz。該X-Y向柔性調(diào)節(jié)機構能夠應用到光刻投影物鏡中。
【作者單位】： 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所應用光學國家重點實驗室;
【基金】：國家重大科技專項02專項資助課題(2009ZX02005)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 0引言隨著集成電路規(guī)模的不斷擴大,集成電路線寬越來越小,因此對光刻投影物鏡光學精度及機械精度的要求越來越苛刻[1-2]。為了更好地補償光刻投影物鏡的各成像指標[3-4],系統(tǒng)中某些光學元件需要進行X-Y向精密調(diào)節(jié)。一般要求X-Y向調(diào)節(jié)量為數(shù)十微米,調(diào)節(jié)精度達到數(shù)十納米級。傳

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本文編號：1202029