本文關(guān)鍵詞：亞微米高精度曲率半徑測(cè)量及其不確定度分析

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【摘要】：針對(duì)高精度光學(xué)系統(tǒng)的需求,利用立式Fizeau型干涉儀,結(jié)合雙頻激光測(cè)長(zhǎng)干涉儀,實(shí)現(xiàn)了亞微米量級(jí)的高精度曲率半徑的測(cè)量。為了驗(yàn)證該測(cè)量系統(tǒng)的可靠性,分別使用兩個(gè)參考鏡對(duì)一系列不同曲率半徑的光學(xué)零件進(jìn)行了檢測(cè)。對(duì)產(chǎn)生測(cè)量誤差的主要因素進(jìn)行了詳細(xì)分析,以SiC小球?yàn)槔?結(jié)合不確定度理論,得到測(cè)量結(jié)果的不確定度約為0.13μm(假設(shè)是正態(tài)分布,置信水平約為95%),證明該測(cè)量系統(tǒng)滿足亞微米測(cè)量精度要求。通過(guò)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)對(duì)同一元件的交叉檢測(cè),驗(yàn)證了該系統(tǒng)測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家科技重大專項(xiàng)(2009ZX02205)
【分類號(hào)】：TH741
【正文快照】： 1引言曲率半徑是球面光學(xué)元件的重要物理屬性,其準(zhǔn)確性對(duì)光學(xué)系統(tǒng)的性能具有重要的影響,尤其對(duì)于利用光線追跡的方法獲得精確結(jié)果的復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng),曲率半徑的精確測(cè)量不僅對(duì)光學(xué)零件的制造極為重要,也是光學(xué)系統(tǒng)裝調(diào)的基礎(chǔ)。對(duì)于光刻機(jī)物鏡[1-2]等復(fù)雜的高精密光學(xué)系統(tǒng),高精度

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本文編號(hào)：1200577