本文關(guān)鍵詞：MEMS微加速度計(jì)在振動(dòng)環(huán)境下的可靠性研究

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【摘要】：由于微加速度計(jì)的可靠性成為其產(chǎn)品商業(yè)化過(guò)程中的一個(gè)重要問(wèn)題,而沖擊斷裂是導(dǎo)致其性能失效的主要原因。主要研究了壓阻式微加速度計(jì)在振動(dòng)環(huán)境下的可靠性問(wèn)題。設(shè)計(jì)了微加速度計(jì)在振動(dòng)環(huán)境下的可靠性試驗(yàn)并通過(guò)ANSYS進(jìn)行仿真。經(jīng)過(guò)分析得出微加速度計(jì)在振動(dòng)環(huán)境下的主要失效模式,并進(jìn)行了相應(yīng)的失效機(jī)理分析。通過(guò)可靠性實(shí)驗(yàn)進(jìn)行了驗(yàn)證,對(duì)微加速度計(jì)在振動(dòng)環(huán)境下的可靠性進(jìn)行評(píng)估,并描繪了其可靠度與失效概率曲線。
【作者單位】： 中北大學(xué)電子測(cè)試技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中北大學(xué)儀器科學(xué)與動(dòng)態(tài)測(cè)試教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中北大學(xué)計(jì)算機(jī)與控制工程學(xué)院;
【分類號(hào)】：TH824.4
【正文快照】： 微機(jī)電系統(tǒng)在近十年多來(lái)取得了飛速的發(fā)展。當(dāng)前對(duì)于MEMS器件的設(shè)計(jì)和制作的工作已經(jīng)取得了很多進(jìn)展,但是就整體而言,MEMS產(chǎn)品的商品化尚未實(shí)現(xiàn)[1-2]。各種情況下失效問(wèn)題是MEMS商品化的一大障礙。微加速度計(jì)可靠性問(wèn)題已經(jīng)成為阻礙它在武器系統(tǒng)中廣泛應(yīng)用的首要因素。微加速

【參考文獻(xiàn)】

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【相似文獻(xiàn)】

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1 劉曉e，

本文編號(hào)：1196616