本文關(guān)鍵詞：跨尺度二維工作臺系統(tǒng)研制

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【摘要】：為實現(xiàn)大行程、納米分辨力的定位目標,研制了跨尺度二維工作臺系統(tǒng)。采用大行程宏動臺和六自由度微動臺組合的方式,搭建了宏/微雙驅(qū)動高精度二維工作臺系統(tǒng)。該系統(tǒng)利用機器視覺技術(shù),采用圖像處理方法確定系統(tǒng)中各個零件的位置和方向,宏動臺高速移動實現(xiàn)粗定位,通過微動臺與宏動臺的循環(huán)配合工作,最終實現(xiàn)二維工作臺系統(tǒng)的納米級定位精度。實驗結(jié)果表明,200mm×200mm二維工作臺的定位精度在0.6μm左右,該工作臺系統(tǒng)具備了大行程、定位時間快、智能化等優(yōu)點。
【作者單位】： 合肥工業(yè)大學;
【基金】：國家自然科學基金(51175141)
【分類號】：TH703
【正文快照】： 1引言大行程工作臺的定位精度一般局限在微米級,而以壓電陶瓷微驅(qū)動器為代表的微動工作臺,其定位精度能夠達到納米級,但行程通常只能達到幾十微米。對于微操作任務(wù)來說,在關(guān)注高精度、納米級定位的同時,還要兼顧微米級的大范圍宏動定位。為解決宏觀與微觀的矛盾,國內(nèi)外學者相

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本文編號：1191801