本文關(guān)鍵詞：閉環(huán)硅微加速度計非線性補償（英文）

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【摘要】：為了降低閉環(huán)硅微加速度計的非線性,分析了其主要誤差源并提出了相應(yīng)的補償方法。首先,分析了閉環(huán)狀態(tài)下檢測質(zhì)量塊偏離幾何中心位置所造成的非線性問題,并確定了電路零位是主要誤差源;其次,利用閉環(huán)反饋控制進行了非線性的優(yōu)化分析;最后,提出了非線性補償?shù)墓こ陶{(diào)試方法。離心試驗結(jié)果表明,采用該調(diào)試方法可將加速度計的非線性減小一個數(shù)量級以上。該結(jié)果驗證了非線性誤差分析和補償方法的有效性,且適用于同批次加工的其它加速度計。
【作者單位】： 西北工業(yè)大學(xué)自動化學(xué)院;西安飛行自動控制研究所;
【基金】：國際合作項目——高精度微機電系統(tǒng)制造技術(shù)合作研究(2011DFA72370)
【分類號】：TH824.4
【正文快照】： The nonlinearity of MEMS closed-loop accelero-micro-machined sensing element is depicted in Fig.1.Itmeter degrades its high performance for navigation gradeconsists of two fixed outer electrodes,each of them hasapplication[1-4].For capacitive acceleromet

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前9條

1 王士杰;;熱電偶非線性補償電路的設(shè)計計算[J];自動化儀表;1992年07期

2 朱立強;扱電阻測溫電路非線性補償?shù)挠嬎銠C輔助設(shè)計[J];無錫輕工業(yè)學(xué)院學(xué)報;1986年02期

3 張濤,徐苓安,唐懷璞;一種新型雙通道智能流量儀[J];電子測量與儀器學(xué)報;1995年03期

4 盧文科,宋國雍;熱敏電阻非線性補償?shù)难芯縖J];儀表技術(shù);1996年02期

5 葉海英;;微型機數(shù)據(jù)處理二例[J];工業(yè)儀表與自動化裝置;1989年04期

6 薛占林，，曹志恒;空盒式遙測氣壓表的研制[J];哈爾濱電工學(xué)院學(xué)報;1994年04期

7 林均淳;;利用單片機軟件作熱電偶非線性補償[J];自動化儀表;1993年09期

8 林均淳;利用單片機軟件熱電偶非線性補償[J];廣東工學(xué)院學(xué)報;1994年02期

9 ;[J];;年期

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1 王玉田;王威;張海鋒;陳蕾蕾;;基于神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的熱敏電阻非線性補償?shù)难芯縖A];2007'中國儀器儀表與測控技術(shù)交流大會論文集（二）[C];2007年

本文編號：1172132