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提高石英音叉鎢絲探針制作成材率

發(fā)布時間:2017-11-11 08:04

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【摘要】:針對探針的腐蝕及粘接制約原子力顯微鏡實驗開展的問題,提出一種制作原子力顯微鏡石英音叉鎢絲探針的方法。通過對原有腐蝕裝置的改進(jìn),提高了鎢絲針尖的成材率;鎢絲探針粘接裝置的開發(fā)極大地避免了人為因素的干擾,提高了針尖粘接的效率。最后通過實驗來驗證腐蝕方法及粘接裝置的可行性。
【作者單位】: 北京航空航天大學(xué)物理科學(xué)與核能工程學(xué)院微納測控與低維物理教育部重點實驗室;
【基金】:國家自然科學(xué)基金項目(61371008) 北京市自然科學(xué)基金項目(4132038) 北京航空航天大學(xué)重大教學(xué)改革項目(2013)資助
【分類號】:TH742
【正文快照】: 1986年,G.Binning等[1]人在掃描隧道顯微鏡(STM)的基礎(chǔ)上發(fā)明了原子力顯微鏡(AFM),如今AFM已經(jīng)應(yīng)用于微電子技術(shù)、基因工程、材料工程等各個領(lǐng)域[2]。1937年Müller[3]將腐蝕好的鎢絲探針成功運(yùn)用于場發(fā)射顯微鏡中,在后來的70多年中,采用電化學(xué)腐蝕多晶體線制備AFM探針的方法

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