發(fā)布時(shí)間：2017-11-11 01:28

  本文關(guān)鍵詞：可用于光刻自動(dòng)聚焦的高靈敏度流量計(jì)式位移檢測(cè)系統(tǒng)

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【摘要】：為解決傳統(tǒng)光學(xué)檢測(cè)方法存在的對(duì)已刻(干刻)區(qū)域無法檢測(cè)、潛在曝光可能性、系統(tǒng)光路復(fù)雜以及靈敏度較低等缺點(diǎn),提出了一種可用于激光直寫光刻自動(dòng)聚焦的高靈敏度流量計(jì)式位移檢測(cè)系統(tǒng)。詳細(xì)介紹了系統(tǒng)的原理、系統(tǒng)設(shè)計(jì)、實(shí)驗(yàn)方法以及誤差分析等。根據(jù)流量傳感器檢測(cè)得到的氣流變化,可以判斷光刻系統(tǒng)中聚焦系統(tǒng)是否離焦以及離焦量的大小。再將此氣流變化量轉(zhuǎn)化為電壓值反饋至壓電陶瓷(PZT)執(zhí)行機(jī)構(gòu),通過執(zhí)行機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)聚焦。由于噴嘴擋板系統(tǒng)可以建立噴嘴擋板間距與噴嘴內(nèi)部壓力的關(guān)系,而流量敏感度要高于壓力敏感度,故采用了熱線探針來檢測(cè)系統(tǒng)流量變化。實(shí)驗(yàn)證明,該方法能夠準(zhǔn)確檢測(cè)系統(tǒng)離焦量,系統(tǒng)測(cè)量精度可達(dá)100nm,頻率響應(yīng)可達(dá)20Hz,量程可達(dá)20μm。而且在一定范圍內(nèi)噴嘴擋板間距與空氣流量變化具有非常好的線性關(guān)系。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所;國(guó)家納米科學(xué)中心;
【分類號(hào)】：TH814;TP274
【正文快照】： 1引言激光是一種高質(zhì)量的光源,具有高亮度、相干性好、準(zhǔn)直性好、單色性好等特點(diǎn)。激光加工是指將激光束作用于物體的表面從而引起物體形狀或性質(zhì)發(fā)0808003-1生改變的加工過程,其實(shí)質(zhì)是激光將能量傳遞給被加工材料,使被加工材料發(fā)生物理或化學(xué)變化,從而達(dá)到加工的目的。激光加

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