發(fā)布時(shí)間：2017-11-10 17:10

  本文關(guān)鍵詞：超精密表面形貌光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)

  更多相關(guān)文章： 白光干涉測(cè)量 共聚焦測(cè)量 協(xié)調(diào)控制 三維重構(gòu) 表面形貌測(cè)量

【摘要】：為了解決實(shí)際測(cè)量中單一測(cè)量方法存在的局限性,結(jié)合白光干涉測(cè)量技術(shù)與共聚焦測(cè)量技術(shù),通過緊湊型部分共光路結(jié)構(gòu)原則,設(shè)計(jì)并搭建了一套超精密表面形貌光學(xué)測(cè)量系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)微納米幾何形貌的三維重構(gòu)與測(cè)量。基于C#語(yǔ)言與DirectX11開發(fā)組件,開發(fā)了上位機(jī)執(zhí)行軟件,實(shí)現(xiàn)了兩種光學(xué)測(cè)量模式下硬件的協(xié)調(diào)控制及納米標(biāo)準(zhǔn)樣板表面形貌的三維重構(gòu)。對(duì)臺(tái)階高度標(biāo)定值為(98.8±0.6)nm的臺(tái)階標(biāo)準(zhǔn)樣板進(jìn)行測(cè)量,實(shí)驗(yàn)表明:用白光干涉測(cè)量模式和共聚焦測(cè)量模式分別實(shí)現(xiàn)了對(duì)臺(tái)階樣板的大范圍快速測(cè)量和小范圍精密測(cè)量,10次測(cè)量的平均值分別為100.5和99.8 nm,標(biāo)準(zhǔn)差均小于2 nm,說明該系統(tǒng)能較好地滿足微納器件超精密表面形貌測(cè)量的要求。
【作者單位】： 中國(guó)計(jì)量大學(xué);上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51475335) 國(guó)家重大儀器專項(xiàng)資助項(xiàng)目(2014YQ090709)
【分類號(hào)】：TH74
【正文快照】： 0引言隨著微電子技術(shù)、微機(jī)械技術(shù)和微光學(xué)技術(shù)的快速發(fā)展,制造技術(shù)不斷向著超大尺寸制造以及極小尺寸制造兩個(gè)極端方向發(fā)展。為了適應(yīng)這一發(fā)展趨勢(shì),超精密表面形貌測(cè)量?jī)x在具備較高的橫向分辨率和縱向分辨率的同時(shí)應(yīng)具備較大的測(cè)量范圍。顯然,單一功能的儀器已經(jīng)無(wú)法滿足當(dāng)下

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 徐德衍;光干涉測(cè)量技術(shù)[J];光學(xué)學(xué)報(bào);1995年04期

2 馬建國(guó)，徐永安，孫同明;等傾光干涉測(cè)量中一種新的“小數(shù)”計(jì)數(shù)理論[J];信息工程學(xué)院學(xué)報(bào);1995年02期

3 李天初;光干涉測(cè)量幾何長(zhǎng)度的相對(duì)不確定度極限[J];中國(guó)計(jì)量;1996年12期

4 沈?yàn)槊?李衛(wèi)濤;王育紅;方濤;;大光軸傾角的偏光干涉測(cè)量方法[J];計(jì)量學(xué)報(bào);2007年02期

5 S.C.Bartlett;何瑜;;使用雙波長(zhǎng)光源的雙分辨率非接觸式振動(dòng)位移傳感器[J];國(guó)外計(jì)量;1990年06期

6 張靖華,王春華;光源功率譜對(duì)白光干涉測(cè)量的影響[J];光學(xué)技術(shù);1997年05期

7 張倩;崔長(zhǎng)彩;周曉林;范偉;傅師偉;;垂直掃描白光干涉測(cè)量數(shù)據(jù)處理算法分析[J];湖北汽車工業(yè)學(xué)院學(xué)報(bào);2010年01期

8 張劍宇;;干涉法技術(shù)在量塊長(zhǎng)度測(cè)量中的應(yīng)用[J];科技風(fēng);2010年11期

9 李天初;試析光干涉測(cè)量幾何長(zhǎng)度的相對(duì)不確定度極限[J];計(jì)量學(xué)報(bào);1999年01期

10 張倩;崔長(zhǎng)彩;周曉林;;垂直掃描白光干涉測(cè)量數(shù)據(jù)的各種處理算法及其分析[J];機(jī)床與液壓;2010年21期

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前2條

1 徐海濤;垂直掃描白光干涉測(cè)量關(guān)鍵技術(shù)的研究及應(yīng)用[D];華中科技大學(xué);2013年

2 雷李華;納米標(biāo)準(zhǔn)樣板的測(cè)量與溯源方法研究[D];中國(guó)計(jì)量學(xué)院;2012年

，

本文編號(hào)：1167555