發(fā)布時間：2017-11-10 06:15

  本文關鍵詞：雙旋轉補償器型穆勒矩陣橢偏儀同步控制系統設計

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【摘要】：橢偏儀對于納米級樣件結構測量有很廣泛的應用前景,雙旋轉補償器型全穆勒矩陣橢偏儀由于能夠快速測得穆勒矩陣中全部16個元素,在薄膜和納米結構測量等領域都有很大的優(yōu)勢。雙旋轉補償器型穆勒矩陣橢偏儀從其測量原理上看,雙補償器的同步旋轉特性是其實現高精度偏振調制的關鍵,對于穆勒矩陣橢偏儀的測量準確度和測量重復性精度性能好壞有至關重要的作用。因此,本文從系統設計及誤差分析的角度對雙旋轉補償器型穆勒矩陣橢偏儀的同步控制系統進行研究,通過系統建模和仿真分析補償器旋轉同步控制誤差對系統測量精度的影響,并且以此為基礎設計并實現了同步控制方案,主要研究工作包括以下幾個方面:根據穆勒矩陣橢偏儀基本測量原理與系統模型建立了補償器旋轉同步控制誤差傳遞模型,通過仿真分析了同步控制系統中的誤差對測量結果的影響,從而為同步控制系統設計提供理論依據和數據支撐。結合理論建模和仿真分析結果,進行穆勒矩陣橢偏儀同步控制系統需求分析,并從器件選型、同步控制方案的對比等幾個方面進行了系統設計,然后通過基于PMAC控制器的電機PID環(huán)整定提高了電機和系統的性能,又依照面向過程的程序設計要求及原則完成了系統控制軟件開發(fā)。研究了電機在PMAC控制器下的轉動特性,分析了同步控制方案以及電機跟隨誤差對于穆勒矩陣橢偏儀測量精度的影響,從實驗驗證的角度評估了所設計的同步控制系統的性能并給出了為了達到一定的測量精度所需要保證的電機轉動精度。
【學位授予單位】：華中科技大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2015
【分類號】：TH741;TP273

【參考文獻】

中國期刊全文數據庫 前10條

1 孫興偉;董蔚;王可;崔海;;數控機床伺服系統跟隨誤差對加工輪廓的影響[J];制造技術與機床;2010年06期

2 劉蕾;唐為義;原所先;;基于VC++與PMAC的機器人控制軟件的開發(fā)[J];微計算機信息;2008年05期

3 楊智,朱海鋒,黃以華;PID控制器設計與參數整定方法綜述[J];化工自動化及儀表;2005年05期

4 柳吉齡,張宇河,張潔;基于CAN總線的運動控制系統的設計[J];計算機測量與控制;2005年07期

5 周明安,朱光忠,宋曉華,肖俊建;步進電機驅動技術發(fā)展及現狀[J];機電工程技術;2005年02期

6 王家軍,齊冬蓮;運動控制系統的發(fā)展與展望[J];電氣時代;2004年10期

7 吳玉厚,潘振寧,張珂,高玉山;PMAC控制器中PID調節(jié)的應用[J];沈陽建筑工程學院學報(自然科學版);2004年02期

8 蘭光明,韓秋實,孫志永;VC環(huán)境下的PMAC數據實時采集與顯示[J];北京機械工業(yè)學院學報;2004年01期

9 吳宏,蔣仕龍,龔小云,呂恕,李曉卉,楊照輝,王瑞,李久林;運動控制器的現狀與發(fā)展[J];制造技術與機床;2004年01期

10 郝鋼,韓秋實,孫志永;基于PMAC的開放式數控系統性能的研究[J];北京機械工業(yè)學院學報;2003年02期

中國博士學位論文全文數據庫 前1條

1 陳修國;基于廣義橢偏儀的納米結構測量理論與方法研究[D];華中科技大學;2013年

中國碩士學位論文全文數據庫 前7條

1 姚立忠;基于CCD與PMAC的激光三維堆積離焦量實時閉環(huán)控制研究[D];蘇州大學;2012年

2 謝香林;EtherCAT網絡及其伺服運動控制系統研究[D];大連理工大學;2008年

3 汪俊杰;新型無刷直流電機驅動系統研究[D];南京航空航天大學;2008年

4 祝建禮;多自由度檢測機器人控制系統開發(fā)與位姿誤差補償[D];浙江大學;2007年

5 田相克;PMAC多軸運動控制器研究[D];蘭州理工大學;2004年

6 孔慧勇;基于運動控制卡的全閉環(huán)控制系統研究[D];四川大學;2003年

7 張學成;基于PMAC運動控制器的開放式數控系統研究[D];中國人民解放軍國防科學技術大學;2002年

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本文編號：1165415