發(fā)布時(shí)間：2017-11-09 22:02

  本文關(guān)鍵詞：光柵光譜儀光路結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)

  更多相關(guān)文章： 光柵光譜儀 步進(jìn)電機(jī) 正弦機(jī)構(gòu) 反饋控制

【摘要】：為提高光柵光譜儀的波長掃描精度,設(shè)計(jì)了一套可對(duì)光柵轉(zhuǎn)動(dòng)情況進(jìn)行實(shí)時(shí)反饋的系統(tǒng)結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)了儀器在高速和高精度掃描上的統(tǒng)一。在對(duì)反饋結(jié)構(gòu)進(jìn)行設(shè)計(jì)時(shí),應(yīng)用光柵尺測位移技術(shù)對(duì)正弦絲桿上的滑塊進(jìn)行位移反饋,由計(jì)算機(jī)對(duì)其進(jìn)行接收和處理。對(duì)比實(shí)驗(yàn)顯示,儀器本身波長掃描精度為0.7nm,加入反饋電路進(jìn)行反饋后波長掃描精度可達(dá)0.15nm。結(jié)果表明,加入對(duì)光柵轉(zhuǎn)動(dòng)情況的反饋結(jié)構(gòu)后,可使光柵光譜儀滿足高精度掃描要求。
【作者單位】： 燕山大學(xué)河北省測試計(jì)量技術(shù)及儀器重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;華北理工大學(xué)電氣工程學(xué)院;
【分類號(hào)】：TH744.1
【正文快照】： 引言掃描式光柵光譜儀通常采用步進(jìn)電機(jī)加絲桿的正弦掃描結(jié)構(gòu),通過控制步進(jìn)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)電路細(xì)分電機(jī)的每一相電流,提高波長掃描精度,但步進(jìn)電機(jī)在高細(xì)分狀態(tài)下的運(yùn)行狀態(tài)不穩(wěn)定,導(dǎo)致光柵光譜儀波長掃描精度不高[1-3],僅為0.7nm,為提高對(duì)衍射波長的掃描精度,加入一套可對(duì)光柵轉(zhuǎn)

【參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前7條

1 黃晉卿;黃梅珍;王龍;施Z赯，

本文編號(hào)：1163744