本文關鍵詞：用于大口徑平面鏡檢測的五棱鏡掃描檢測系統(tǒng)裝調(diào)技術研究

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【摘要】：五棱鏡掃描檢測具有結(jié)構(gòu)簡單、檢測周期短等優(yōu)點,可實現(xiàn)低階像差的高精度檢測,是指導大口徑、超大口徑平面鏡光學加工的有效途徑�；诠饩�矢量追跡理論,建立五棱鏡掃描檢測系統(tǒng)數(shù)學模型,并采用最小二乘法推導出系統(tǒng)測量精度與系統(tǒng)主要光學元件角度變化量之間的解析表達式。在此基礎上,分析了系統(tǒng)測量精度對元件裝調(diào)精度的靈敏度,給出了系統(tǒng)精確裝調(diào)的實施方案,并進行了系統(tǒng)裝調(diào)試驗,探索出適合大口徑平面鏡檢測的五棱鏡掃描檢測系統(tǒng)裝調(diào)流程。實驗結(jié)果表明,由裝調(diào)過程引起的系統(tǒng)測量誤差可控制在40 nrad以內(nèi)。通過理論分析和裝調(diào)試驗,驗證了使用五棱鏡掃描檢測技術進行大口徑平面檢測的可行性。
【作者單位】： 中國科學院大學;中國科學院長春光學精密機械與物理研究所;中國科學院光學系統(tǒng)先進制造技術重點實驗室;
【基金】：國家自然科學基金(61210015)
【分類號】：TH743
【正文快照】： 1引言隨著望遠技術的發(fā)展,大口徑、超大口徑的望遠系統(tǒng)也越來越多,規(guī)劃中的歐洲極大望遠鏡(E-ELT)、30 m望遠鏡(TMT)等未來巨型望遠鏡主鏡的口徑都超過了30 m,E-ELT的主鏡直徑達42 m,其中的平面折返鏡的口徑1.3 m;TMT主鏡口徑達到30 m,其三鏡是一個2.5 m×3.5 m超大口徑橢圓形

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