發(fā)布時(shí)間：2017-11-04 22:38

  本文關(guān)鍵詞：高真空蒸發(fā)系統(tǒng)檢漏技術(shù)淺析

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【摘要】：介紹了幾種常見(jiàn)的真空系統(tǒng)檢漏方法,著重探討了氦質(zhì)譜檢漏儀的原理和結(jié)構(gòu),分析了檢漏儀的檢漏過(guò)程,能夠幫助工程人員快速有效地尋找到漏點(diǎn),并給出了常見(jiàn)漏點(diǎn)的解決辦法。為真空蒸發(fā)系統(tǒng)設(shè)備的檢漏提供了有意義的借鑒,為設(shè)備維護(hù)人員提供了參考和幫助。
【作者單位】： 天津恒電空間電源有限公司;
【分類(lèi)號(hào)】：TH843
【正文快照】： 隨著科技的發(fā)展,真空技術(shù)應(yīng)用的領(lǐng)域越來(lái)越廣。半導(dǎo)體、電子、醫(yī)療、食品等行業(yè)都離不開(kāi)真空技術(shù),其中尤以高真空蒸發(fā)設(shè)備的應(yīng)用最為廣泛。高真空蒸發(fā)設(shè)備在使用過(guò)程中比較常見(jiàn)的問(wèn)題是真空漏率隨著使用時(shí)間延長(zhǎng)而逐漸升高,這其中有一些是人為非常規(guī)操作導(dǎo)致的,但更多的是設(shè)備

【共引文獻(xiàn)】

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 汪中漢;回旋加速器CYCHU-10真空及其控制系統(tǒng)研究[D];華中科技大學(xué);2013年

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本文編號(hào)：1141466