本文關(guān)鍵詞：一種球面透鏡波前畸變的絕對檢測方法

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【摘要】：球面透鏡的透射波前畸變是影響激光驅(qū)動器光束質(zhì)量的重要參數(shù)。采用移相干涉儀檢測球面透鏡波前畸變時,測量結(jié)果的精度受限于標(biāo)準(zhǔn)球面鏡頭和后置平面反射鏡的精度。然而,現(xiàn)有的絕對檢測技術(shù)僅適用于反射元件。為了滿足球面透鏡波前畸變的高精度檢測需求,提出了一種適用于球面透鏡透射波前的絕對檢測方法:三位置-平移相減法。詳細(xì)介紹了三位置-平移相減法的原理,對其進(jìn)行了模擬仿真和實驗驗證。仿真結(jié)果顯示:三位置-平移相減法的仿真誤差為10nm~13nm,達(dá)到高精度測量的理論要求;實驗結(jié)果表明:三位置-平移相減法可以有效地減小前標(biāo)準(zhǔn)球面鏡頭和后置平面反射鏡對測量結(jié)果的影響,該方法對球面透鏡的加工和裝調(diào)具有很好的指導(dǎo)意義。
【作者單位】： 中國工程物理研究院激光聚變研究中心;
【基金】：中國工程物理研究院發(fā)展基金(2014B0401080)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 引言球面透鏡是慣性約束聚變激光驅(qū)動系統(tǒng)中的一類重要光學(xué)元件,它廣泛應(yīng)用于激光驅(qū)動器各個部分,起到光路準(zhǔn)直、空間濾波、成像等作用。它的透射波前會直接影響輸出波前的波前分布,從而影響遠(yuǎn)場光束質(zhì)量。因此,必須嚴(yán)格控制球面透鏡的透射波前精度。采用斐索型移相干涉儀是一

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 沈陽;球面透鏡曲率半徑的線性測量機(jī)構(gòu)[J];光學(xué)儀器;2004年05期

2 楊力;;球面透鏡銑磨[J];光學(xué)工程;1978年03期

3 包振遠(yuǎn);;球面透鏡的加工[J];儀器制造;1978年04期

4 周傳金;;球面透鏡工藝工裝的計算機(jī)輔助設(shè)計[J];光學(xué)儀器;1988年06期

5 金文`，

本文編號：1138367